镇江市德利克真空设备科技有限公司匡国庆获国家专利权
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龙图腾网获悉镇江市德利克真空设备科技有限公司申请的专利一种具有磁场调节功能的靶芯获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224062877U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520546023.6,技术领域涉及:C23C14/35;该实用新型一种具有磁场调节功能的靶芯是由匡国庆设计研发完成,并于2025-03-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有磁场调节功能的靶芯在说明书摘要公布了:本实用新型公开一种具有磁场调节功能的靶芯,包括多个调节机构,沿靶芯本体长度方向均匀布设;所述调节机构一端与所述靶芯本体固定连接,另一端与所述靶芯本体内部的磁铁组件相连;且每个所述调节机构均为独立工作,从而通过单个调节机构调节对应位置磁铁组件的高度,从而将靶材两端部的磁场强度与靶材中部的磁场强度调节一致。该具有磁场调节功能的靶芯中的调节机构内设有层叠设置的多个第一调节垫片和第二调节垫片,且通过增加第一调节垫片的数量能够向上调节磁铁组件的高度,而通过增加第二调节垫片的数量能够向下调节磁铁组件的高度;随调节杆的运动调节对应位置磁铁组件的高度,从而将靶材两端部的磁场强度与靶材中部的磁场强度调节一致。
本实用新型一种具有磁场调节功能的靶芯在权利要求书中公布了:1.一种具有磁场调节功能的靶芯,其特征在于,包括多个调节机构10,沿靶芯本体20长度方向均匀布设; 所述调节机构10一端与所述靶芯本体20固定连接,另一端与所述靶芯本体20内部的磁铁组件30相连; 且每个所述调节机构10均为独立工作,从而通过单个调节机构10调节对应位置磁铁组件30的高度,从而将靶材两端部的磁场强度与靶材中部的磁场强度调节一致。
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