上海博贝化工有限公司杨青山获国家专利权
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龙图腾网获悉上海博贝化工有限公司申请的专利一种固态前驱体封装容器获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224062872U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421347949.4,技术领域涉及:C23C14/24;该实用新型一种固态前驱体封装容器是由杨青山;徐继光设计研发完成,并于2024-06-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种固态前驱体封装容器在说明书摘要公布了:本实用新型涉及气相沉积技术领域,具体为一种固态前驱体封装容器,包括瓶体,所述瓶体的顶面设置有瓶盖本体,所述瓶盖本体的内部插设安装有连接管,所述连接管的外表面设置有安装环,所述安装环的下表面设置有过滤器本体,所述连接管的顶面设置有出口阀,所述出口阀的前表面设置有出口管;进口阀,所述进口阀安装在瓶盖本体的上表面。本实用新型通过过滤器本体的设计能够增加了气体的分布效应,同时有过滤的效果,可以避免颗粒物进入源瓶的下游管路中,整体防护效果较好,同时当瓶体整体需要进行拆卸时,首先将进口阀和出口阀进行关闭,然后打开旁通吹扫阀,通过旁通吹扫阀能够在两组第二安装管的内部进行吹扫。
本实用新型一种固态前驱体封装容器在权利要求书中公布了:1.一种固态前驱体封装容器,包括瓶体1,所述瓶体1的顶面设置有瓶盖本体2,其特征在于:所述瓶盖本体2的内部插设安装有连接管3,所述连接管3的外表面设置有安装环4,所述安装环4的下表面设置有过滤器本体5,所述连接管3的顶面设置有出口阀6,所述出口阀6的前表面设置有出口管7; 进口阀8,所述进口阀8安装在瓶盖本体2的上表面,所述进口阀8的前表面设置有进口管9,所述进口阀8与出口阀6的尺寸相同。
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