汉轩微电子制造(江苏)有限公司朱焱均获国家专利权
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龙图腾网获悉汉轩微电子制造(江苏)有限公司申请的专利一种直径大于晶圆直径的磨头获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224059579U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520364684.7，技术领域涉及：B24B53/017；该实用新型一种直径大于晶圆直径的磨头是由朱焱均;陈煜;王尧林;燕强设计研发完成，并于2025-03-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种直径大于晶圆直径的磨头在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种直径大于晶圆直径的磨头，包括：摆臂和磨头，所述磨头的直径大于晶圆的直径，所述摆臂上或摆臂内设置有输液装置，所述输液装置与所述磨头连通，所述磨头的底部设置有若干个导液槽。通过上述结构的设计，采用超晶圆尺寸的磨头磨头直径大于晶圆直径，消除了存在未修整区域的缺陷。如图1所示，晶圆的使用区域始终位于磨头的修整范围内，当磨头直径达到晶圆直径的1.2‑1.5倍时，无论摆幅与摆动频率如何调节，均可保证研磨垫表面晶圆的使用区域实现100%的修整覆盖率，完全消除周期性未修整区域。通过输液装置向磨头持续输送清洁或抛光液体，并向磨头与研磨垫的接触面和接触面以外的区域持续供液冲刷，去除残留的污染物。
本实用新型一种直径大于晶圆直径的磨头在权利要求书中公布了：1.一种直径大于晶圆直径的磨头，包括：摆臂1和磨头2，所述摆臂1的一端与驱动设备连接，另一端与磨头2活动连接，其特征在于，所述磨头2的直径大于晶圆3的直径，所述摆臂1上或摆臂1内设置有输液装置，所述输液装置与所述磨头2连通，所述磨头2的底部设置有若干个导液槽4。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人汉轩微电子制造(江苏)有限公司，其通讯地址为：221000 江苏省徐州市高新技术产业开发区康宁路1号高科金汇大厦A座1401室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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