上海华力集成电路制造有限公司陈城获国家专利权
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龙图腾网获悉上海华力集成电路制造有限公司申请的专利晶圆传感器的保护装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224059536U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520866569.X，技术领域涉及：B24B37/34；该实用新型晶圆传感器的保护装置是由陈城;邱麟;顾瑞俊设计研发完成，并于2025-04-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆传感器的保护装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆传感器的保护装置，包括：引流槽。晶圆传感器设置在工艺模块的外壁上，工艺模块呈箱体结构且顶部具有溢流边缘。引流槽设置在晶圆传感器的顶部表面和溢流边缘之间的外壁上，引流槽的出口和晶圆传感器之间具有间隔，晶圆传感器的周侧形成无溢流液体流动区。本实用新型能保护晶圆传感器并避免晶圆传感器受溢流影响，从而降低晶圆传感器的误报警概率并延长晶圆传感器的使用寿命。
本实用新型晶圆传感器的保护装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆传感器的保护装置，其特征在于，包括：引流槽； 晶圆传感器设置在工艺模块的外壁上，所述工艺模块呈箱体结构且顶部具有溢流边缘； 所述引流槽设置在所述晶圆传感器的顶部表面和所述溢流边缘之间的所述外壁上，所述引流槽的出口和所述晶圆传感器之间具有间隔，所述晶圆传感器的周侧形成无溢流液体流动区。
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