极电光能有限公司;极电光能(无锡)新能源有限公司彭冲获国家专利权
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龙图腾网获悉极电光能有限公司;极电光能(无锡)新能源有限公司申请的专利磁控溅射旋转靶自动打磨系统及真空镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224059494U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520565777.6，技术领域涉及：B24B27/033；该实用新型磁控溅射旋转靶自动打磨系统及真空镀膜设备是由彭冲;汤红丹;吴俊杰;请求不公布姓名;李明洁;王雪戈;邵君;于振瑞设计研发完成，并于2025-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本磁控溅射旋转靶自动打磨系统及真空镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及靶材打磨技术领域，公开了一种磁控溅射旋转靶自动打磨系统及真空镀膜设备，包括旋转机构，用于固定旋转靶的端部并绕轴回转旋转靶；基台设置在旋转靶的一侧；第一清洁组件固定安装在基台上，用于打磨旋转靶；第二清洁组件固定安装在基台上，用于对打磨后的旋转靶进行清洁；多个第一检测组件，固定安装在基台上并沿旋转靶轴向间隔排列设置，用于检测第一检测组件至旋转靶的距离。本实用新型通过实时检测第一检测组件至旋转靶的距离，并根据距离的变化对旋转靶表面进行清洁，从而无需进行开腔维保打磨，降低维护时间成本及人力成本，还可以预防出现靶材结瘤的情况，从而保证产品质量及产品良率。
本实用新型磁控溅射旋转靶自动打磨系统及真空镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种磁控溅射旋转靶自动打磨系统，其特征在于，包括： 旋转机构101，用于固定旋转靶100的端部并绕轴回转所述旋转靶100； 基台200，设置在所述旋转靶100的一侧； 第一清洁组件210，固定安装在所述基台200上，用于打磨所述旋转靶100； 第二清洁组件220，固定安装在所述基台200上，用于对打磨后的所述旋转靶100进行清洁； 多个第一检测组件300，固定安装在所述基台200上并沿所述旋转靶100轴向间隔排列设置，用于检测所述第一检测组件300至所述旋转靶100的距离。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人极电光能有限公司;极电光能(无锡)新能源有限公司，其通讯地址为：214101 江苏省无锡市锡山经济技术开发区通云南路77号3号楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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