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汉轩微电子制造(江苏)有限公司朱焱均获国家专利权

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龙图腾网获悉汉轩微电子制造(江苏)有限公司申请的专利一种半导体清洗设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224058278U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520382001.0,技术领域涉及:B08B9/032;该实用新型一种半导体清洗设备是由朱焱均;郭桥;王尧林;燕强;陈煜设计研发完成,并于2025-03-06向国家知识产权局提交的专利申请。

一种半导体清洗设备在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体技术领域,特别一种半导体清洗设备,包括:传送带机构、承载板、基座、喷管和喷管二,所述传送带机构的皮带上连接有承载板,承载板通过旋转机构与基座连接,基座顶部连接有收纳管,承载板上连接有多个喷管的底端,喷管上连接有多个喷头,收纳管中部连接有喷管二,喷管二上连接有多个喷头二,喷头朝向喷头二设置,通过在喷管上设置喷头对石英管的外部进行清洗,在喷管二上设置喷头二对石英管的内部进行清洗,同时设置旋转机构使石英管进行移动,减少了石英管在清洗前的浸泡环节,提高了清洗效率。

本实用新型一种半导体清洗设备在权利要求书中公布了:1.一种半导体清洗设备,其特征在于,包括:传送带机构1、承载板2、基座3、喷管4和喷管二5,所述传送带机构1的皮带上连接有承载板2,承载板2通过旋转机构与基座3连接,基座3顶部连接有收纳管6,承载板2上连接有多个喷管4的底端,喷管4上连接有多个喷头,收纳管6中部连接有喷管二5,喷管二5上连接有多个喷头二,喷头朝向喷头二设置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人汉轩微电子制造(江苏)有限公司,其通讯地址为:221000 江苏省徐州市高新技术产业开发区康宁路1号高科金汇大厦A座1401室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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