上海华力集成电路制造有限公司郭靖获国家专利权
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龙图腾网获悉上海华力集成电路制造有限公司申请的专利清洗刷盖板模组获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224058123U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520312052.6,技术领域涉及:B08B1/12;该实用新型清洗刷盖板模组是由郭靖设计研发完成,并于2025-02-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本清洗刷盖板模组在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种清洗刷盖板模组,其包括:清洗刷基座、清洗刷及清洗刷盖板,清洗刷基座包括中间凹槽部及边缘延展部,中间凹槽部用于放置清洗刷,边缘延展部位于中间凹槽部的四周,且在边缘延展部上设置有电磁装置;清洗刷盖板用于盖在所述清洗刷基座上,其包括内侧面及外侧面,内侧面设有与电磁装置相同数目的金属导体,且在清洗刷盖板盖在清洗刷基座上时,内侧面朝向清洗刷基座,此时,金属导体的位置与电磁体的位置相吻合。通过本实用新型解决了现有的清洗刷盖板模组易造成晶圆碎片的问题。
本实用新型清洗刷盖板模组在权利要求书中公布了:1.一种清洗刷盖板模组,其特征在于,所述盖板模组包括:清洗刷基座、清洗刷及清洗刷盖板, 所述清洗刷基座包括中间凹槽部及边缘延展部,所述中间凹槽部用于放置清洗刷,所述边缘延展部位于所述中间凹槽部的四周,且在所述边缘延展部上设置有电磁装置; 所述清洗刷盖板用于盖在所述清洗刷基座上,其包括内侧面及外侧面,所述内侧面设有与所述电磁装置相同数目的金属导体,且在所述清洗刷盖板盖在所述清洗刷基座上时,所述内侧面朝向所述清洗刷基座,此时,所述金属导体的位置与所述电磁装置的位置相吻合; 其中,在需要更换清洗刷时,清洗机台断电,所述金属导体与所述电磁装置脱离,在更换完所述清洗刷后,清洗机台通电,所述电磁装置的磁性出现,其与所述金属导体之间牢牢地固定住。
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