上海科文斯集成微电有限公司张志江获国家专利权
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龙图腾网获悉上海科文斯集成微电有限公司申请的专利半导体设备排出的有毒气体排空净化机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224056925U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520225771.4，技术领域涉及：B01D46/10；该实用新型半导体设备排出的有毒气体排空净化机构是由张志江;米嘉;严付根;朱钧钧;李峰;孙永国;王攀飞;喻建忠;朱林;吴丹设计研发完成，并于2025-02-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体设备排出的有毒气体排空净化机构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及有毒气体排空净化机构技术领域，尤其涉及半导体设备排出的有毒气体排空净化机构。其技术方案包括：收集箱，所述收集箱的内部设置有过滤层，所述收集箱的前后两侧内壁之间转动设置有两个螺杆，每个所述螺杆的中端外圈均螺纹连接有清洁刷。本实用新型通过设置过滤层至电机一，不仅可以对收集的气体进行初步过滤，去除大颗粒的固体污染物，防止影响后续的净化过程，还便于对过滤层进行自清洁，防止堵塞影响进气效果和过滤效果，通过设置催化箱至催化剂搅拌桨，便于通过加热气体至高温，并在催化剂的作用下将有害气体氧化为无害物质，如水和二氧化碳，并且通过催化剂搅拌桨的转动可以将气体进行充分搅拌，提高催化的效率。
本实用新型半导体设备排出的有毒气体排空净化机构在权利要求书中公布了：1.半导体设备排出的有毒气体排空净化机构，包括收集箱1，其特征在于：所述收集箱1的内部设置有过滤层2，所述收集箱1的前后两侧内壁之间转动设置有两个螺杆3，每个所述螺杆3的中端外圈均螺纹连接有清洁刷4，每个所述螺杆3的前端外圈均贯穿延伸至收集箱1的前侧并设置有齿轮5，所述收集箱1的前侧设置有L型安装板6，所述L型安装板6的前侧设置有电机一7，所述电机一7的输出端与位于上侧的一个螺杆3的前端呈固定连接，所述收集箱1的左侧设置有输送管8，所述输送管8的左端设置有催化箱9，所述催化箱9的内外壁之间设置有加热层10，所述催化箱9的顶面设置有电机二11，所述电机二11的输出端贯穿延伸至催化箱9的内部并设置有搅拌轴12，所述搅拌轴12的外圈设置有多个催化剂搅拌桨13。
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