中国科学院长春光学精密机械与物理研究所曲义兴获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
龙图腾网获悉中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利利用大尺寸离子源实现的光学元件加工方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121552156B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202610088231.5,技术领域涉及:B24B1/00;该发明授权利用大尺寸离子源实现的光学元件加工方法是由曲义兴;李龙响;李兴昶;程润木;张学军设计研发完成,并于2026-01-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本利用大尺寸离子源实现的光学元件加工方法在说明书摘要公布了:本发明涉及先进光学制造技术领域,尤其涉及一种利用大尺寸离子源实现的光学元件加工方法,包括以下步骤:面形检测和面形误差分析,输出目标去除量分布和离子束去除函数,采用斑点法获得离子束束流的去除函数,根据去除量分布和离子束束流的去除函数计算得到驻留时间分布,获得离子束束流密度空间分布,并对离子源发出的离子束束流进行均匀性调节;操控口径离子源起辉,根据驻留时间分布通过离子源发出的离子束束流进行加工;加工后对光学元件进行面形检测和面形误差分析,满足要求,则加工完成。本发明采用口径为220mm的离子源进行表面修正,通过优化离子源束流均匀性,并呈高斯分布,实现大口径、高坡度的待加工光学元件精准去除。
本发明授权利用大尺寸离子源实现的光学元件加工方法在权利要求书中公布了:1.一种利用大尺寸离子源实现的光学元件加工方法,其特征在于,采用口径为220mm离子源加工,包括以下步骤: S1:通过激光干涉仪对待加工光学元件进行面形检测;并将检测到的面形数据输入metropro软件进行面形误差分析,并输出目标去除量分布和离子束去除函数; S2:将试验件送入真空舱,抽至真空度为10-3pa,启动离子源对试验件进行加工,加工后取出试验件,采用斑点法获得离子束束流的去除函数,通过所述离子束束流的去除函数和步骤S1的所述目标去除量分布计算得到驻留时间分布; S3:将待加工光学元件吊放于翻转台上,采用激光测距仪测量所述待加工光学元件与所述翻转台的台面距离,保证所述待加工光学元件与所述翻转台的台面平行放置,并进行固定; S4:通过所述翻转台翻转所述待加工光学元件,并将所述待加工光学元件送入真空舱内,使所述待加工光学元件的待加工面朝向离子源设置,所述翻转台移出真空舱; S5:通过雷尼绍探针在真空舱内获取所述待加工光学元件边缘,并获得中心点坐标,将中心点作为加工坐标原点; S6:对所述真空舱抽真空,抽至真空度为10-3pa; S7:根据步骤S1中的所述离子束去除函数确定所述待加工光学元件的去除函数半宽,采用法拉第杯扫描离子束束流得到离子束束流密度空间分布,对离子源发出的离子束束流进行均匀性调节,均匀性调节为通过调整加工距离、能量、气流和射频功率,使所述离子源发出的离子束束流呈高斯分布; S8:操控离子源起辉,计算机数控加工中心根据驻留时间分布和步骤S5中获得的坐标原点进行加工,一次加工即可覆盖大口径高陡度区域。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,其通讯地址为:130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议,有机会获取IP积分或其他奖励