天津市荣颖电子科技有限公司于恩达获国家专利权
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龙图腾网获悉天津市荣颖电子科技有限公司申请的专利基于嵌入式电流扫描的芯片无损检测系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121500073B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202610046059.7,技术领域涉及:G01R31/28;该发明授权基于嵌入式电流扫描的芯片无损检测系统是由于恩达;刘博雯;赵曼慧;张宁设计研发完成,并于2026-01-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于嵌入式电流扫描的芯片无损检测系统在说明书摘要公布了:本发明涉及芯片检测技术领域,尤其涉及一种基于嵌入式电流扫描的芯片无损检测系统。该系统包括电流扫描模块、信息采集模块、数据分析模块、异常扫描区域生成模块以及扫描路径生成模块,本发明中系统不是简单地对全芯片进行更高密度的二次扫描,而是基于首次扫描结果,智能筛选出需要重点关注的异常扫描区域,并为其计算区域扫描优先级,使得宝贵的检测时间和计算资源能够集中投入到最可疑、最严重的区域,避免了在正常区域的无谓重复扫描;根据区域形状规则程度动态选择最优扫描路径,如规则区域用并行线,不规则区域用放射线,使得扫描路径本身更贴合缺陷的几何特征,用更少的扫描点获得更完整的区域表征,路径规划效率更高。
本发明授权基于嵌入式电流扫描的芯片无损检测系统在权利要求书中公布了:1.一种基于嵌入式电流扫描的芯片无损检测系统,其特征在于,包括: 电流扫描模块,其用于向被测芯片注入电流,并控制电流在预设的测试路径上扫描所述被测芯片; 信息采集模块,其与所述电流扫描模块相连,用于采集所述被测芯片的扫描数据; 数据分析模块,其与所述信息采集模块相连,用于基于所述扫描数据确定所述被测芯片的异常扫描点,并基于所述异常扫描点的空间位置计算聚集特征值,以及基于所述扫描数据计算点异常度,并基于聚集特征值确定异常扫描点的分布类型,分布类型包括聚集类型和分散类型; 异常扫描区域生成模块,其与所述数据分析模块相连,用于基于所述异常扫描点的分布类型确定所述异常扫描点的合并方法,包括: 第一生成模块,用于基于异常扫描点的聚集核密度合并分布类型为聚集类型的异常扫描点,生成异常扫描区域; 第二生成模块,用于基于异常扫描点的分散连接半径合并分布类型为分散类型的异常扫描点,生成异常扫描区域; 扫描路径生成模块,其与所述异常扫描区域生成模块相连以及所述数据分析模块相连,用于基于异常扫描区域的形状特征规则程度以及该区域内异常扫描点的点异常度,计算各区域的区域扫描优先级,并基于所述区域扫描优先级和所述形状特征规则程度确定针对各异常扫描区域的二次扫描路径。
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