佛仪科技(佛山)有限公司李晓峰获国家专利权
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龙图腾网获悉佛仪科技(佛山)有限公司申请的专利一种自动阻抗匹配器及控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121417854B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202512027631.3，技术领域涉及：H03H17/00；该发明授权一种自动阻抗匹配器及控制方法是由李晓峰;黄晓明;黄嘉岷;陈江;肖永能设计研发完成，并于2025-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种自动阻抗匹配器及控制方法在说明书摘要公布了：本申请提供了一种自动阻抗匹配器及控制方法，涉及阻抗匹配器技术领域。通过电压采样电路和电流采样电路分别获取射频电源输出的电压信号和电流信号，并将其传输至信号调理模块。信号调理模块根据这些信号输出有功功率数字信号、无功功率数字信号、电流平方数字信号和电压平方数字信号。控制模块则利用这些数字信号计算出表征负载的复阻抗，并据此进行阻抗匹配调整。控制模块还能根据电压平方数字信号检测射频功率信号是否存在，作为是否开始自动阻抗匹配的判断条件之一。本申请能够获取较为完整的复阻抗信息，并实现自动阻抗匹配，从而在速度和可靠性之间取得较好的平衡。
本发明授权一种自动阻抗匹配器及控制方法在权利要求书中公布了：1.一种自动阻抗匹配器，应用于射频电源，其特征在于，包括：电压采样电路、电流采样电路、信号调理模块和控制模块； 电压采样电路连接射频电源，用于采集射频电源输出的电压信号； 电流采样电路连接射频电源，用于采集射频电源输出的电流信号； 电压采样电路的电压输出端和电流采样电路的电流输出端均与信号调理模块连接，信号调理模块用于接收电压信号和电流信号，并用于根据电压信号和电流信号输出有功功率数字信号、无功功率数字信号、电流平方数字信号和电压平方数字信号； 控制模块与信号调理模块连接，用于根据有功功率数字信号、无功功率数字信号和电流平方数字信号计算出表征负载的复阻抗，并根据复阻抗进行阻抗匹配调整，其中，复阻抗是指包括匹配器、传输线和负载设备的总体阻抗； 控制模块还用于根据电压平方数字信号检测射频功率信号是否存在，并作为是否开始自动阻抗匹配的判断条件之一。
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