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龙图腾网获悉科讯工业制造(深圳)有限公司申请的专利用于半导体超临界清洗设备的气动高压阀及其组装方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121408464B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202512016314.1，技术领域涉及：F16K1/36；该发明授权用于半导体超临界清洗设备的气动高压阀及其组装方法是由张生洲;方佳华设计研发完成，并于2025-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于半导体超临界清洗设备的气动高压阀及其组装方法在说明书摘要公布了：本发明涉及压力阀技术领域，公开了一种用于半导体超临界清洗设备的气动高压阀及其组装方法。该气动高压阀包括气缸组件、塑料膜片及塑料阀座。气缸体内设有中心台阶及弹性垫圈，活塞具有与弹性垫圈配合的环形台阶面。在阀门关闭过程中，活塞先压缩弹性垫圈进行缓冲减速，再驱动膜片密封阀口，从而实现软着陆，从根源上消除了高压阀关闭撞击产生的颗粒。同时膜片采用多级卡槽结构，配合阀座的无死区流道，可耐受8.0Mpa超临界流体压力并实现几乎零泄漏和零金属离子析出。

本发明授权用于半导体超临界清洗设备的气动高压阀及其组装方法在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体超临界清洗的气动高压阀，其特征在于，包括： 气缸组件，包括气缸上盖10、气缸体20及活塞30，所述气缸上盖10安装在所述气缸体20上，所述气缸体20内设有相互连通的活塞腔23与中心孔24；其中，所述活塞腔23与所述中心孔24的过渡处形成中心台阶25，所述中心台阶25上设有弹性垫圈21，所述活塞30容置于所述活塞腔23，且穿过所述弹性垫圈21伸入所述中心孔24； 塑料膜片40，具有密封隔膜部41及一体设于中心的阀芯42；所述密封隔膜部41沿中心向外依次设有第一密封凸缘41A及第二密封凸缘41B；所述阀芯42具有位于上部的螺纹部42A和位于下部的阀芯台面42B，所述螺纹部42A连接所述活塞30的底端； 塑料阀座50，内部开设阀口52及与所述阀口52连通的进口流道53和出口流道54，所述塑料阀座50的上表面沿中心向外依次设有第一阀座卡槽55及第二阀座卡槽56；所述塑料阀座50承载所述气缸组件及所述塑料膜片40，所述第一密封凸缘41A安装于所述第一阀座卡槽55，所述第二密封凸缘41B安装于所述第二阀座卡槽56，所述阀芯台面42B位于所述阀口52处；其中，所述活塞30被配置为上下移动以驱动所述阀芯台面42B密封或脱离所述阀口52，所述弹性垫圈21用于在所述活塞30向下移动的过程中提供缓冲以降低所述塑料膜片40与所述塑料阀座50之间的撞击强度； 其中，所述活塞30包括一体成型的活塞主体30A、上活塞杆30B及下活塞杆30C，所述上活塞杆30B连接于所述活塞主体30A的上端面，所述下活塞杆30C连接于所述活塞主体30A的下端面；所述气缸上盖10内设有容纳腔12；所述活塞主体30A容置于所述活塞腔23，所述活塞主体30A的下端面设有围绕所述下活塞杆30C的叶轮结构30E，所述叶轮结构30E用于在进气气流作用下产生切向力矩以抑制所述活塞30旋转；所述上活塞杆30B容置于所述容纳腔12，且所述上活塞杆30B上从内到外依次套设有常闭内弹簧35及常闭外弹簧34；所述下活塞杆30C自所述活塞腔23伸入所述中心孔，所述下活塞杆30C的底端设有用于安装塑料膜片40的螺纹孔，且所述下活塞杆30C具有环形台阶面30D；其中，所述环形台阶面30D的径向宽度与所述弹性垫圈21的径向宽度相匹配，用于在所述活塞30向下移动的过程中与所述弹性垫圈21接触，以使所述活塞30减速。

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