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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利一种光路装置、光学检测方法以及检测设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121384814B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511960845.X，技术领域涉及：G01N21/01；该发明授权一种光路装置、光学检测方法以及检测设备是由赵康俊;张龙;黄有为;陈鲁设计研发完成，并于2025-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光路装置、光学检测方法以及检测设备在说明书摘要公布了：一种光路装置、光学检测方法以及检测设备，该光路装置包括侧向入射光路组件以及透镜组件，该侧向入射光路组件包括检测光源以及扩束镜组，检测光源提供入射光束，扩束镜组用于对入射光束在第一方向展开和整形形成平行的第一方向检测光束以及对在第二方向展开和整形形成非平行的第二方向检测光束；该第一方向检测光束通过透镜组件出射至待测物的待测表面形成光斑；第二方向检测光束非平行入射至透镜组件表面并具有光束尺寸，第二方向检测光束从透镜组件出射至待测表面并形成上述光斑。本申请提供了一种避免在透镜组件中心开孔的检测光路，可有效降低镜片损伤风险实现更可靠、高效的晶圆缺陷检测。

本发明授权一种光路装置、光学检测方法以及检测设备在权利要求书中公布了：1.一种光路装置，其特征在于，包括： 侧向入射光路组件，所述侧向入射光路组件包括检测光源以及扩束镜组，所述检测光源用于提供入射光束，所述扩束镜组用于对所述入射光束在第一方向展开和整形形成平行的第一方向检测光束以及用于对所述入射光束在第二方向展开和整形形成非平行的第二方向检测光束；以及 透镜组件， 其中，所述第一方向检测光束通过所述透镜组件出射至待测物的待测表面，并在所述待测表面上形成光斑，所述光斑具有与所述第一方向相关的第一尺寸；所述第二方向检测光束以入射光束角度非平行入射至所述透镜组件表面并具有光束尺寸，所述第二方向检测光束从所述透镜组件出射至所述待测表面，并在所述待测表面上形成所述光斑，所述光斑具有与所述第二方向相关的第二尺寸，所述第二方向垂直于所述第一方向； 所述扩束镜组包括柱透镜，所述柱透镜的透镜曲率位于所述第二方向的整形截面内； 所述第二尺寸与所述入射光束角度之间关系为： ，其中，为所述第二尺寸，f为所述透镜组件焦距，θ为所述入射光束角度。

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