歌尔光学科技有限公司李绍民获国家专利权
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龙图腾网获悉歌尔光学科技有限公司申请的专利双路激光干涉仪、光栅测量方法以及光学检测系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121383840B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511988001.6,技术领域涉及:G01B9/02015;该发明授权双路激光干涉仪、光栅测量方法以及光学检测系统是由李绍民设计研发完成,并于2025-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本双路激光干涉仪、光栅测量方法以及光学检测系统在说明书摘要公布了:本申请公开了一种双路激光干涉仪、光栅测量方法以及光学检测系统,涉及光学检测技术领域,该双路激光干涉仪包括提供激光光束的激光光源,用于将激光光束分为第一光束以及第二光束的分光模块、第一光路模块、第二光路模块以及成像采集模块,该第一光路模块用于将第一光束入射至被测光栅,并接收经由被测光栅发出的第一衍射光形成第一干涉图;该第二光路模块用于将第二光束入射至被测光栅,并接收经由被测光栅发出的第二衍射光形成第二干涉图;成像采集模块分设于第一光路模块以及第二光路模块的出光侧的成像采集模块被设置为依据第一干涉图以及第二干涉图确定被测光栅的测量结果,以在不牺牲测量精度的前提下,提高光栅均匀性的测量效率。
本发明授权双路激光干涉仪、光栅测量方法以及光学检测系统在权利要求书中公布了:1.一种双路激光干涉仪,其特征在于,所述双路激光干涉仪包括: 激光光源,所述激光光源被设置为提供激光光束; 分光模块,所述分光模块被设置为将所述激光光束分为第一光束以及第二光束; 第一光路模块,所述第一光路模块被设置为将所述第一光束入射至被测光栅,并接收经由被测光栅发出的第一衍射光形成第一干涉图; 第二光路模块,所述第二光路模块与所述第一光路模块对称设置,所述第二光路模块被设置为将所述第二光束入射至被测光栅,并接收经由所述被测光栅发出的第二衍射光形成第二干涉图;其中,所述第一光路模块与所述第二光路模块被配置为同步工作,所述被测光栅无需移动,使所述第一光束与所述第二光束以方向相反的利特罗角同时入射至所述被测光栅,以生成在时域上完全同步且在空域上严格对称的第一干涉图以及第二干涉图; 成像采集模块,所述成像采集模块分设于所述第一光路模块的出光侧以及所述第二光路模块的出光侧,所述成像采集模块被设置为依据所述第一干涉图以及所述第二干涉图确定所述被测光栅的测量结果; 所述成像采集模块被设置为将所述第一干涉图的第一横轴相位分布函数和所述第二干涉图的第二横轴相位分布函数作差后,与所述被测光栅的名义周期进行乘积处理,得到所述被测光栅的实际光栅相对于理想光栅的周期误差累积量,并计算所述周期误差累积量关于各光栅横向位置坐标的一阶导数,得到所述被测光栅在各所述光栅横向位置坐标处的局部周期误差,统计所有处于理想误差区间内的光栅横向位置坐标的坐标数量,并将所述坐标数量与所有所述光栅横向位置坐标的坐标总测量数之间的百分比确定为所述被测光栅的均匀性阈值,依据所述均匀性阈值与预设的均匀性参考阈值进行比较,得到所述被测光栅的均匀性是否合格的测量结果。
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