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龙图腾网获悉太仓迪科力科技有限公司申请的专利一种基于拉曼光谱的半导体胶带表面洁净度检测方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121364164B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511946885.9，技术领域涉及：G01N21/27；该发明授权一种基于拉曼光谱的半导体胶带表面洁净度检测方法及系统是由唐浩成;瞿清;张良设计研发完成，并于2025-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于拉曼光谱的半导体胶带表面洁净度检测方法及系统在说明书摘要公布了：本发明属于洁净度检测技术领域，具体涉及一种基于拉曼光谱的半导体胶带表面洁净度检测方法及系统，包括以下步骤：S1，获取半导体胶带表面的多频谱图像；对多频谱图像中的每一像素点，计算像素点光谱维度的马氏距离与空间维度的Gabor纹理响应的加权和，得到空间光谱‑纹理异常指数；基于空间光谱‑纹理异常指数确定拉曼光谱的激发点，并采集各激发点的拉曼光谱数据；S2，提取激发点的多频谱特征向量和拉曼光谱特征向量。本发明基于带有置信度权重的高质量稀疏测量结果，通过插值生成了全视场洁净度分布图，实现了对胶带表面污染状况的全面评估，解决了传统方法在检测效率、识别精度和表示全面性之间的矛盾。

本发明授权一种基于拉曼光谱的半导体胶带表面洁净度检测方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种基于拉曼光谱的半导体胶带表面洁净度检测方法，其特征在于，包括以下步骤： S1，获取半导体胶带表面的多频谱图像；对多频谱图像中的每一像素点，计算像素点光谱维度的马氏距离与空间维度的Gabor纹理响应的加权和，得到空间光谱-纹理异常指数；基于空间光谱-纹理异常指数确定拉曼光谱的激发点，并采集各激发点的拉曼光谱数据； S2，提取激发点的多频谱特征向量和拉曼光谱特征向量；计算拉曼光谱数据的主特征峰强度与基线噪声标准差的比值，得到拉曼信号质量因子；根据激发点的空间光谱-纹理异常指数和拉曼信号质量因子，计算融合置信度系数，包括： 分别对空间光谱-纹理异常指数AI和拉曼信号质量因子进行归一化处理，通过逻辑斯谛函数映射到[0,1]区间，得到归一化指数和归一化因子；归一化指数和归一化因子相乘得到融合置信度系数； Sv表示经过逻辑斯谛函数映射后得到的归一化值，v表示输入的原始变量，k、v0分别表示逻辑斯谛函数的形状参数、中心点参数； 利用融合置信度系数对拉曼光谱特征向量进行加权，并与多频谱特征向量拼接，生成融合特征向量； S3，通过计算融合特征向量与预设的污染物标准特征库中各标准特征向量之间的光谱距离，以最小距离对应的污染物类型作为识别结果；根据识别结果，调用相应的浓度回归模型，计算出激发点的污染物浓度； S4，对于未确定为激发点的其他像素点，基于所有激发点的污染物浓度及空间位置，并以各激发点的融合置信度系数作为影响权重，进行径向基函数插值，计算得到其他像素点的污染物浓度，从而生成全视场的表面洁净度分布图； 以所有N个激发点的污染物浓度、空间位置以及融合置信度系数作为插值条件；采用高斯函数作为径向基函数；对于视场内任一待计算的像素点，像素点的污染物浓度通过对所有激发点的污染物浓度进行加权平均计算得到，满足：。

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