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龙图腾网获悉上海悦匠实业有限公司申请的专利一种半导体设备扰动预测与控制方法、系统、设备及介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121348928B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511927092.2，技术领域涉及：G05B19/042；该发明授权一种半导体设备扰动预测与控制方法、系统、设备及介质是由王开兵;李家强;张贤群设计研发完成，并于2025-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体设备扰动预测与控制方法、系统、设备及介质在说明书摘要公布了：本申请提供一种半导体设备扰动预测与控制方法、系统、设备及介质，方法包括：首先预设工艺指令与扰动事件之间的映射规则，在半导体设备运行过程中对工艺配方中的工艺指令进行解析；基于前瞻窗口机制筛选扰动指令，将扰动指令转化为扰动事件，并生成对应的扰动预测曲线；基于扰动预测曲线生成多个前馈补偿分量，并将前馈补偿分量进行叠加，得到综合前馈补偿控制量，将每一综合前馈补偿控制量映射至预测时间轴，得到前馈补偿曲线；基于温控系统的当前温度值与目标温度计算温度误差，并结合PID算法得到反馈控制量；将综合前馈补偿控制量与反馈控制量进行叠加，得到最终控制输出量，并将最终控制输出量发送至温控系统以驱动加热或冷却装置。

本发明授权一种半导体设备扰动预测与控制方法、系统、设备及介质在权利要求书中公布了：1.一种半导体设备扰动预测与控制方法，其特征在于，包括： 工艺配方解析，在半导体设备运行前预设工艺指令与扰动事件之间的映射规则，在半导体设备运行过程中，对工艺配方中的工艺指令进行解析； 扰动预测，基于前瞻窗口机制从所述工艺配方中筛选扰动指令，基于所述映射规则将扰动指令转化为扰动事件，并将每一所述扰动事件映射至预测时间轴，生成对应的扰动预测曲线； 前馈补偿，基于所述扰动预测曲线按扰动类型生成多个前馈补偿分量，并将所述前馈补偿分量进行叠加，得到综合前馈补偿控制量，将每一综合前馈补偿控制量映射至预测时间轴，得到前馈补偿曲线； 反馈控制，基于温控系统的当前温度值与当前时刻生效的目标温度，计算温度误差，并结合PID算法得到反馈控制量； 协同输出，在当前时刻将所述综合前馈补偿控制量与反馈控制量进行叠加，得到最终控制输出量，并将所述最终控制输出量发送至温控系统以驱动加热或冷却装置； 所述前馈补偿用于基于扰动预测曲线提前生成补偿控制量，抵消预测扰动对温控系统的影响； 所述反馈控制用于基于温控系统的实际温度与目标温度的偏差生成校正控制量，修正未被前馈补偿覆盖的残余扰动； 所述前馈补偿及反馈控制构成分工解耦的复合控制架构； 所述扰动预测，包括： 采用前瞻窗口机制筛选未来一段时间内的扰动指令，并基于所述映射规则将扰动指令转化成扰动事件，形成扰动事件序列； 在所述前瞻窗口内构建预测时间轴； 基于展开规则，将所述前瞻窗口内的每一扰动事件投影到预测时间轴上； 基于所述扰动事件在预测时间轴上的投影结果，逐点计算并生成扰动预测曲线； 在所述半导体设备运行期间，当所述工艺配方被修改时，实时同步更新对应的扰动事件。

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