上海森桓新材料科技有限公司尚家庄获国家专利权
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龙图腾网获悉上海森桓新材料科技有限公司申请的专利一种全氟醚橡胶阀板及制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121200271B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511762688.1，技术领域涉及：B29C43/18；该发明授权一种全氟醚橡胶阀板及制备方法是由尚家庄;修国华;张玉;伍云浪;梁阳阳设计研发完成，并于2025-11-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种全氟醚橡胶阀板及制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种全氟醚橡胶阀板的制备方法，包括以下步骤：步骤1、对铝合金基体表面依次进行镀镍、喷砂以及等离子刻蚀处理，得到预处理后的铝合金件；步骤2、将预处理后的铝合金件与全氟醚橡胶置于模具中，在无化学粘合剂条件下模压成型，得到模压成型后的阀板，其中，模压过程采用真空辅助排气；步骤3、对所述模压成型后的阀板进行高温二次硫化处理，获得全氟醚橡胶阀板。本发明提供的全氟醚橡胶阀板具有卓越的耐化学腐蚀性、高温稳定性和密封性能，有效地解决了传统粘合剂导致的污染、老化和失效问题。本发明的制备方法简化了生产工艺，降低了环境风险，为半导体设备的关键组件提供了高效解决方案。
本发明授权一种全氟醚橡胶阀板及制备方法在权利要求书中公布了：1.一种全氟醚橡胶阀板的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 步骤1、对铝合金基体表面依次进行镀镍、喷砂以及等离子刻蚀处理，得到预处理后的铝合金件，其中，等离子刻蚀先使用O2刻蚀，再使用混合气刻蚀，所述混合气包括CF4与O2的混合气或NF3与O2的混合气，CF4与O2的体积比为3-5：1； 步骤2、将预处理后的铝合金件与全氟醚橡胶置于模具中，在无化学粘合剂条件下模压成型，得到模压成型后的阀板，其中，模压过程采用真空辅助排气； 步骤3、对所述模压成型后的阀板进行高温二次硫化处理，获得全氟醚橡胶阀板。
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