上海集迦电子科技有限公司崔维获国家专利权
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龙图腾网获悉上海集迦电子科技有限公司申请的专利晶圆测距系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121140589B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511688403.4，技术领域涉及：G01B7/02；该发明授权晶圆测距系统是由崔维设计研发完成，并于2025-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆测距系统在说明书摘要公布了：本申请涉及电容测距技术领域，提供了晶圆测距系统，该系统包括：相位趋势调控模块、波动区段筛查模块、温相联动识别模块、多参测距校正模块和稳定性数据输出模块，基于电容极板阵列结构，分析每个频率点对应的电流相位差。通过对高频信号激励下相位差分布进行多点联动判别，结合自适应采样和温度参数耦合，实现材料介电常数非均匀及表面粗糙度变化引发的测距误差区段主动识别和动态修正，针对非均匀材料或表面扰动造成的电容测距结果偏差，能够分区追踪、实时校正测距输出，消除临界距离监控失效的风险，有效防止探针碰撞或检测盲区现象，对晶圆测距结果实现高稳定性校正，提高测距系统应对复杂工艺和极端工况的能力。
本发明授权晶圆测距系统在权利要求书中公布了：1.晶圆测距系统，其特征在于，包括： 相位趋势调控模块基于电容极板阵列结构，分析各频率点电流相位差，识别相位变化幅度的增长趋势，调整步进间隔和采样密度，优化信号激励频率范围，得到频域密集采样区段； 波动区段筛查模块基于所述频域密集采样区段，筛选区段内相位变化数据，计算相邻频点相位变化速率差异，判断速率连续增加区段，得到频段相位波动特征； 温相联动识别模块基于所述频段相位波动特征，分析区段分布式温度传感器节点的温度数据，计算温度变化速率与相位变化速率的关联性，得到温度相位耦合特征； 多参测距校正模块基于所述温度相位耦合特征，比较目标测距数据与同一环境下其他空间测距输出，判断目标点与加权平均数据偏离程度，调整目标测距输出，得到异常位移校正量； 稳定性数据输出模块基于所述异常位移校正量，对已修正数据与未识别为异常的数据均值比对，计算修正后各空间点变化幅度，判断稳定性变化，得到位移修正稳定结果。
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