杭州市北京航空航天大学国际创新研究院(北京航空航天大学国际创新学院)项秉坷获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州市北京航空航天大学国际创新研究院(北京航空航天大学国际创新学院)申请的专利三维纳米拾取线圈及其制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121034848B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511545833.0,技术领域涉及:H01F41/06;该发明授权三维纳米拾取线圈及其制造方法是由项秉坷;石新民;王若男;曹志强;张学莹;林晓阳设计研发完成,并于2025-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本三维纳米拾取线圈及其制造方法在说明书摘要公布了:本申请涉及三维纳米拾取线圈及其制造方法。该用于制造三维纳米拾取线圈的方法包括:形成探针结构,其中,探针结构包括针体和针尖,针尖设置于针体沿延伸方向的一端;形成包裹探针结构的导电材料层;以及通过聚焦离子束旋转刻蚀工艺,基于导电材料层形成缠绕在针体的第一线圈。该方法能够制造纳米级分辨率的三维纳米拾取线圈。
本发明授权三维纳米拾取线圈及其制造方法在权利要求书中公布了:1.用于制造三维纳米拾取线圈的方法,其特征在于,包括: 形成探针结构,其中,所述探针结构包括针体和针尖,所述针尖设置于所述针体沿延伸方向的一端,所述探针结构的长度范围为5μm至100μm; 形成包裹所述探针结构的导电材料层;以及 通过聚焦离子束旋转刻蚀工艺,基于所述导电材料层形成缠绕在所述针体的第一线圈,所述第一线圈的匝数范围在10匝至500匝,所述第一线圈的线宽范围在5nm至100nm,所述第一线圈的线距范围在5nm至100nm。
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