江苏安上云端信息技术有限公司;江苏理工学院邱骏达获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏安上云端信息技术有限公司;江苏理工学院申请的专利一种固晶机的进料装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120998843B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511171712.4,技术领域涉及:H10P72/30;该发明授权一种固晶机的进料装置是由邱骏达;刘琦;汤嘉立;李川安;陈森源设计研发完成,并于2025-08-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种固晶机的进料装置在说明书摘要公布了:本发明涉及固晶机技术领域,具体为一种固晶机的进料装置,包括进料传送带,所述进料传送带用于对扩晶完成的晶圆扩张模组进行输送进料,所述进料传送带的一端设有进料台,所述进料台上设有腔体,且腔体中设有推动气缸,所述推动气缸输出端固定连接有扩晶膜;本发明通过设有的备料台以及导向件,从而可以将扩晶内环、晶膜移动至扩晶模上方,同时将扩晶外环放入至压合扩晶机构处,从而在对晶膜上的晶圆进行扩晶的同时,能够将扩晶外环套在晶模以及扩晶内环外侧,同时实现对多余的晶模进行快速稳定的切除,不仅能够提高晶圆扩张模组的扩晶速度,同时保证对多余的晶膜进行一致性稳定切除,同时配合推料机构实现对晶圆扩张模组进行快速上料。
本发明授权一种固晶机的进料装置在权利要求书中公布了:1.一种固晶机的进料装置,包括进料传送带1,所述进料传送带1用于对扩晶完成的晶圆扩张模组进行输送进料,所述进料传送带1的一端设有进料台2,所述进料台2上设有腔体,且腔体中设有推动气缸21,所述推动气缸21输出端固定连接有扩晶膜22,其特征在于:所述进料台2的一侧设有备料台3,所述备料台3上滑动连接有支撑工件板31,所述备料台3上还设置有导向件4,且导向件4用于对支撑工件板31进行导向,所述支撑工件板31用于对扩晶内环以及晶膜进行支撑; 所述支撑工件板31上还设置有同步放置机构5,所述同步放置机构5用于对扩晶外环进行同步放置; 所述备料台3上还设置有压合扩晶机构6,所述压合扩晶机构6与扩晶膜22相互配合,对晶膜进行扩晶的同时,使扩晶外环卡在扩晶内环外侧,同时使多余的膜料进行切割; 所述备料台3上且远离进料传送带1的一侧设有推料机构7,所述推料机构7将完成扩晶的晶圆扩张模组推送至进料传送带1上。
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