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北京乐原众丰科技有限公司陈凯迪获国家专利权

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龙图腾网获悉北京乐原众丰科技有限公司申请的专利一种半导体生产加工设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120977913B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511089713.4,技术领域涉及:H10P72/00;该发明授权一种半导体生产加工设备是由陈凯迪设计研发完成,并于2025-08-05向国家知识产权局提交的专利申请。

一种半导体生产加工设备在说明书摘要公布了:本发明公开了一种半导体生产加工设备,属于半导体加工领域。一种半导体生产加工设备,包括上料箱,还包括:送料口,呈对称开设在上料箱的侧壁上,上料箱靠近送料口的一侧设置有密封机构,用于对上料箱进行密封;限位轨,固定连接在上料箱的内部,限位轨的内部滑动连接有驱动电机,驱动电机的输出端固定连接有往复丝杠,往复丝杠远离驱动电机的一端固定连接有转轴,其中,往复丝杠上设置有活动盘,活动盘与驱动电机之间固定连接有多组气动组件,当往复丝杠转动时,驱动活动盘沿往复丝杠往复移动,间歇对气动组件进行压缩;本发明能够克服半导体沉积效率低,沉积质量差的问题。

本发明授权一种半导体生产加工设备在权利要求书中公布了:1.一种半导体生产加工设备,包括上料箱1,其特征在于,还包括: 送料口2,呈对称开设在所述上料箱1的侧壁上,所述上料箱1靠近送料口2的一侧设置有密封机构,用于对上料箱1进行密封; 限位轨6,固定连接在所述上料箱1的内部,所述限位轨6的内部滑动连接有驱动电机7,所述驱动电机7的输出端固定连接有往复丝杠8,所述往复丝杠8远离驱动电机7的一端固定连接有转轴10, 其中,所述往复丝杠8上设置有活动盘9,所述活动盘9与驱动电机7之间固定连接有多组气动组件12,当往复丝杠8转动时,驱动活动盘9沿往复丝杠8往复移动,间歇对气动组件12进行压缩; 安装块5,呈对称固定连接在所述上料箱1的内部,所述安装块5上设置有存放架20,所述存放架20与安装块5之间设置有驱动组件; 送料机构,设置在所述转轴10与安装块5之间,当转轴10转动时,用于带动半导体沿上料箱1转动并移动; 清洁干燥机构,设置在两组所述安装块5之间,用于对半导体表面上的污染物、氧化层进行清理,并进行干燥。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北京乐原众丰科技有限公司,其通讯地址为:102100 北京市延庆区中关村延庆园光谷街2号楼E座119室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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