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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利一种图像精准对位的方法、装置、设备及可读存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120912653B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511445925.1，技术领域涉及：G06T7/33；该发明授权一种图像精准对位的方法、装置、设备及可读存储介质是由张鹏斌;王宗钊;李艳波;齐鑫;邵珠勇;胡诗铭;陈鲁设计研发完成，并于2025-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种图像精准对位的方法、装置、设备及可读存储介质在说明书摘要公布了：本申请公开了一种图像精准对位的方法、装置、设备及可读存储介质，可应用于半导体技术领域，该方法包括：获取待对位晶圆的实拍光学图像；确定与实拍光学图像对应的目标Kernel图像；基于预设对位数据库确定与目标Kernel图像对应的目标对位模板图；预设对位数据库基于设计版图构建；目标对位模板图是预设对位数据库中全部Target对位图中的一个；基于目标对位模板图确定目标Kernel图像对应的平移偏差值；基于平移偏差值补偿目标Kernel图像中的全部像素，实现图像对位。如此，通过引入预设对位数据库，将设计版图和图像对位数据库直接关联，提高了实拍图像与设计版图之间进行对位的准确性。

本发明授权一种图像精准对位的方法、装置、设备及可读存储介质在权利要求书中公布了：1.一种图像精准对位的方法，其特征在于，所述方法包括： 获取待对位晶圆的实拍光学图像； 确定与所述实拍光学图像对应的目标Kernel图像； 基于预设对位数据库确定与所述目标Kernel图像对应的目标对位模板图；所述预设对位数据库基于设计版图构建；所述目标对位模板图是所述预设对位数据库中全部Target对位图中的一个； 基于所述目标对位模板图确定所述目标Kernel图像对应的平移偏差值； 基于所述平移偏差值补偿所述目标Kernel图像中的全部像素，实现图像对位； 所述预设对位数据库通过以下方法构建得到： 构建与所述待对位晶圆对应的目标版图； 对所述目标版图进行分割，得到N个对位Kernel图像； 根据预设判断依据，分别确定各个对位Kernel图像中的Target特征图以及所述Target特征图对应的特征坐标； 采集每一个特征坐标对应的对位实拍图像； 基于所述对位实拍图像的灰度信息对各个Target特征图进行渲染，分别得到各个Target特征图所对应的渲染图； 将各个渲染图与对应的对位实拍图像进行位置匹配，得到各个渲染图对应的Target对位图； 基于所述特征坐标和所述Target对位图构建预设对位数据库。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳中科飞测科技股份有限公司，其通讯地址为：518109 广东省深圳市龙华区观澜街道新澜社区观光路1301-14号101、102；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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