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绍兴鑫艺智能科技有限公司刘春芳获国家专利权

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龙图腾网获悉绍兴鑫艺智能科技有限公司申请的专利一种半导体生产用硅晶圆柱加工磨削装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120862481B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511193680.8,技术领域涉及:B24B5/50;该发明授权一种半导体生产用硅晶圆柱加工磨削装置是由刘春芳;谢菲;孙恩齐设计研发完成,并于2025-05-12向国家知识产权局提交的专利申请。

一种半导体生产用硅晶圆柱加工磨削装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种半导体生产用硅晶圆柱加工磨削装置,涉及半导体生产技术领域,包括加工板,所述加工板的顶部固定安装有放置板,所述加工板的顶部固定贯穿有线性驱动机构,所述线性驱动机构的移动端顶部固定安装有驱动电机,所述驱动电机的输出端固定安装有装载板,所述装载板远离驱动电机的一端固定贯穿有打磨机构,还包括夹持装置;其中,夹持装置包括电动推杆、搭载板、T形杆、一号弹簧、橡胶板、升降板、一号弹片、两个衔接杆、弧形条和支撑杆,通过加工板施加的支撑力提高打磨的稳定性,再用弧形条对硅晶圆柱施加压力,确保打磨过程中硅晶圆柱不会发生偏转影响打磨效果。

本发明授权一种半导体生产用硅晶圆柱加工磨削装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体生产用硅晶圆柱加工磨削装置,包括加工板1,其特征在于:还包括夹持装置、防尘装置和锁定装置,所述加工板1的顶部固定安装有放置板2,所述加工板1的顶部固定贯穿有线性驱动机构3,所述线性驱动机构3的移动端顶部固定安装有驱动电机4,所述驱动电机4的输出端固定安装有装载板5,所述装载板5远离驱动电机4的一端固定贯穿有打磨机构6,所述加工板1的顶部开设有滑槽; 其中,夹持装置包括电动推杆7、搭载板8、T形杆9、一号弹簧10、橡胶板11、升降板12、一号弹片13、两个衔接杆14、弧形条15和支撑杆16,所述电动推杆7固定安装在加工板1的顶部,所述搭载板8固定安装在电动推杆7的输出端,所述T形杆9滑动贯穿在搭载板8远离电动推杆7的一面,所述一号弹簧10设置在T形杆9与搭载板8之间,所述橡胶板11固定安装在T形杆9远离搭载板8的一面,所述升降板12滑动贯穿在搭载板8的顶部,所述一号弹片13设置在升降板12与搭载板8之间,两个所述衔接杆14固定安装在升降板12远离电动推杆7的一面,所述弧形条15设置在衔接杆14远离升降板12的两端,所述支撑杆16固定安装在升降板12的底部,所述支撑杆16滑动贯穿在搭载板8的底部,所述橡胶板11远离搭载板8的一面开设有波纹一; 所述防尘装置包括移动框161、玻璃罩162、矩形板163、二号弹片164、接触板165、限位板166、圆柱块167、弹性片168和圆杆169,所述移动框161滑动安装在滑槽的顶部,所述玻璃罩162固定安装在移动框161的内部,所述矩形板163滑动安装在移动框161的内壁,所述二号弹片164设置在矩形板163与移动框161之间,所述接触板165固定安装在矩形板163的底部,所述限位板166固定安装在移动框161的外壁,所述圆柱块167固定安装在矩形板163的表面,所述弹性片168固定安装在移动框161的内壁,所述圆杆169固定安装在移动框161的内壁; 所述锁定装置包括固定板171、移动杆172、二号弹簧173、活动板174、握杆175、对接杆176、衔接座177、转动板178和阻挡板179,所述固定板171固定安装在加工板1的表面,所述移动杆172滑动贯穿在固定板171的内部,所述二号弹簧173设置在移动杆172与固定板171之间,所述活动板174固定安装在移动杆172靠近固定板171的一面,所述握杆175固定安装在活动板174远离加工板1的一面,所述对接杆176固定安装在活动板174远离握杆175的一面,所述衔接座177固定安装在固定板171的顶部,所述转动板178转动安装在衔接座177的内部,所述阻挡板179固定安装在固定板171的顶部,所述对接杆176远离活动板174的一端开设有球面二。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人绍兴鑫艺智能科技有限公司,其通讯地址为:312000 浙江省绍兴市柯桥区齐贤街道梅林路372号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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