惠州君弘自动化设备有限公司文刚建获国家专利权
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龙图腾网获悉惠州君弘自动化设备有限公司申请的专利一种光刻机的晶片传送装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120854351B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511050639.5，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权一种光刻机的晶片传送装置是由文刚建;李来金;叶昌珊设计研发完成，并于2025-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻机的晶片传送装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种光刻机的晶片传送装置，涉及半导体材料生产技术领域，包括：对接座；所述对接座与机械臂固定连接，对接座外部连接有支撑架，支撑架外部固定连接有中空圆座；所述中空圆座内部环绕安装有六个内转块，内转块外部连接有拉杆，拉杆位于中空圆座内部；所述中空圆座外部连接有六个负压吸盘，内转块与负压吸盘相连，负压吸盘与负压泵相连。能够根据晶圆片规格的不同，精准改变六个负压吸盘之间的间隔距离，更好地满足各类不同规格晶圆片在吸附传送过程中的多样化需求。解决了现有光刻机所配置的晶片传送装置设计阶段，依据单一规格的晶圆片进行定制化生产，其结构与尺寸严格适配特定规格晶圆片的固定传送需求，应用局限性较大的问题。
本发明授权一种光刻机的晶片传送装置在权利要求书中公布了：1.一种光刻机的晶片传送装置，包括：对接座、支撑架、中空圆座、内转块、负压吸盘、联动转圈、拉杆、调控外圈、螺栓和活动止套；其特征在于，所述对接座与机械臂固定连接，对接座外部连接有支撑架，支撑架外部固定连接有中空圆座；所述中空圆座内部环绕安装有六个内转块，内转块外部连接有拉杆，拉杆位于中空圆座内部；所述中空圆座外部连接有六个负压吸盘，内转块与负压吸盘相连，负压吸盘与负压泵相连；所述中空圆座内部连接有联动转圈，联动转圈与拉杆相连；所述中空圆座外部连接有调控外圈，调控外圈与联动转圈相连，调控外圈内部连接有螺栓；所述对接座外部套装有活动止套，活动止套与支撑架相连。
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