涌淳半导体(无锡)有限公司李峰获国家专利权
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龙图腾网获悉涌淳半导体(无锡)有限公司申请的专利一种用于机械臂吸盘在晶舟盒载物台取放晶圆位置的定位辅助工具获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120727636B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510841676.1,技术领域涉及:H10P72/30;该发明授权一种用于机械臂吸盘在晶舟盒载物台取放晶圆位置的定位辅助工具是由李峰;曹晓光;邵秋新;周晓露设计研发完成,并于2025-06-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于机械臂吸盘在晶舟盒载物台取放晶圆位置的定位辅助工具在说明书摘要公布了:本发明公开了一种用于机械臂吸盘在晶舟盒载物台取放晶圆位置的定位辅助工具,包括底座和机械臂主体,所述底座上端后侧固定连接有支撑台,所述支撑台上端固定连接有支撑柱,所述支撑柱上端固定连接有晶舟盒载物台。本发明中,通过本装置辅助调节机械臂主体输出端固定的插板上的吸盘与晶舟盒载物台的取放位置,可以快速有效地的调整精确的晶圆取放位置,且通过设置的驱动组件可以对调平组件的高度进行调节,便于匹配不同晶圆尺寸在晶舟盒载物台上的不同高度,卡设组件的长度可以调节,且可以通过升降组件对卡设组件的高度进行调节,从而可以根据不同晶舟盒载物台的厚度进行调整,折弯处增加加强筋,保证安装框架的强度,不易出现形变。
本发明授权一种用于机械臂吸盘在晶舟盒载物台取放晶圆位置的定位辅助工具在权利要求书中公布了:1.一种用于机械臂吸盘在晶舟盒载物台取放晶圆位置的定位辅助工具,包括底座1和机械臂主体3,所述底座1上端后侧固定连接有支撑台2,所述支撑台2上端固定连接有支撑柱5,所述支撑柱5上端固定连接有晶舟盒载物台6,所述机械臂主体3固定连接在底座1上端前侧,所述机械臂主体3输出端固定连接有插板4,所述插板4上端后侧固定连接有真空吸盘8,其特征在于:所述晶舟盒载物台6上端设置有安装框架7,所述安装框架7前侧开设有通孔14,所述安装框架7前侧左右两端均固定连接有刻度板13,所述安装框架7后侧相邻的两侧板之间均固定连接有若干加强筋15,还包括: 调平组件9,设置在通孔14前侧位于刻度板13之间的位置,用于对插板4的水平进行调节; 驱动组件12,所述驱动组件12设置在安装框架7前侧位于调平组件9后侧的位置,用于对调平组件9的高度进行调节; 卡设组件11,所述卡设组件11设置在安装框架7左右两侧,用于对安装框架7和晶舟盒载物台6进行固定; 升降组件10,所述升降组件10设置在安装框架7左右两侧位于卡设组件11内侧的位置,用于对卡设组件11的高度进行调节。
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