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龙图腾网获悉无锡埃伏特半导体科技有限公司申请的专利一种射频匹配方法、射频匹配器以及计算机可读存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120567078B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510615795.5，技术领域涉及：H03H7/38；该发明授权一种射频匹配方法、射频匹配器以及计算机可读存储介质是由吴韦设计研发完成，并于2025-05-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种射频匹配方法、射频匹配器以及计算机可读存储介质在说明书摘要公布了：发明公开了一种射频匹配方法、射频匹配器及存储介质，用于解决匹配死区及时间过长问题。通过负载状态感应器检测负载阻抗，阻抗调节网络调节输入阻抗，包含可调电容C1、C2；基于反射系数Γ模平方构建损失函数L，计算梯度并迭代调整电容参数。主控模块驱动真空电容连续调节，结合梯度下降算法动态优化，消除传统查表法的离散限制与死区，适应脉冲模式微秒级快速匹配，抑制射频过冲。本发明提升了动态负载如等离子体下的匹配精度与速度，兼顾复杂工艺稳定性，适用于半导体刻蚀等工艺过程。

本发明授权一种射频匹配方法、射频匹配器以及计算机可读存储介质在权利要求书中公布了：1.一种射频匹配方法，其特征在于， 通过负载状态感应器检测负载阻抗ZLoad; 通过阻抗调节网络调节输入阻抗Zin，所述输入阻抗Zin是指负载与阻抗调节网络组成的系统的等效阻抗，所述阻抗调节网络包括至少一个可调电容； 根据输入阻抗Zin计算反射系数Γ，反射系数Γ=Zin-Z0Zin+Z0，其中Z0为目标特性阻抗，为传输线的特性阻抗， 根据反射系数Γ模平方建立损失函数L： 损失函数L的变量包括阻抗调节网络中用于调节输入阻抗Zin的元器件的参数； 计算损失函数L的梯度,根据梯度下降方向迭代变量； 阻抗调节网络根据每次迭代后的变量值，对应调节用于调节输入阻抗Zin的元器件的参数； 通过匹配状态感应器检测每次迭代后的用于表征射频匹配状态的参数，判断反射系数是否达到设定的判断条件，若达到设定的判断条件，停止迭代，获取当前变量值，对应调节阻抗调节网络中的元器件的参数，若未达到设定的判断条件，继续迭代； 所述阻抗调节网络包括可调电容C1和可调电容C2,所述可调电容C2串联在射频输入端和射频输出端之间，所述可调电容C1一端接地，另一端连接射频输入端； 所述可调电容C1的迭代函数为： 其中为可调电容C1经过次K次迭代后的可调电容C1的容值，γ为迭代步长，为损失函数的对可调电容C1的梯度； 所述可调电容C2的迭代函数为： 其中为经过K次迭代后的可调电容C2的容值，γ为迭代步长，为损失函数的对可调电容C2梯度，在进行迭代之前，可调电容C1和C2分别赋予初始值； 其中： 其中，ω为角频率，C1、C2为可调电容C1和可调电容C2的容值，则： 其中，Γ*为Γ的复共轭，Im表示取复数的虚部，Z0=50Ω。

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