大连恒坤新材料有限公司董岐获国家专利权
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龙图腾网获悉大连恒坤新材料有限公司申请的专利一种高纯正硅酸乙酯的提纯方法及提纯系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117186138B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311159438.X，技术领域涉及：C07F7/04；该发明授权一种高纯正硅酸乙酯的提纯方法及提纯系统是由董岐;李禾禾;毛鸿超;肖楠设计研发完成，并于2023-09-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高纯正硅酸乙酯的提纯方法及提纯系统在说明书摘要公布了：本发明属于半导体技术领域，尤其涉及一种高纯正硅酸乙酯的提纯方法及提纯系统。所述正硅酸乙酯的提纯方法包括：将正硅酸乙酯粗品采用吸附剂I进行初次吸附处理后固液分离，所得液体产物为正硅酸乙酯吸附液；所述吸附剂I中同时含有壳聚糖和沸石及果壳活性炭；将正硅酸乙酯吸附液在温度为70～100℃、真空度≤60kPa条件下减压蒸馏，所得气体产物冷凝后得到正硅酸乙酯蒸馏液；将正硅酸乙酯蒸馏液进行过滤以除去粒径为0.1μm以下的颗粒物，得到高纯正硅酸乙酯。采用本发明提供的方法能够以低成本获得纯度不低于99.999999％的电子级正硅酸四乙酯。
本发明授权一种高纯正硅酸乙酯的提纯方法及提纯系统在权利要求书中公布了：1.一种正硅酸乙酯的提纯方法，其特征在于，该方法包括以下步骤： S1、将正硅酸乙酯粗品采用吸附剂Ⅰ进行初次吸附处理后固液分离，所得液体产物为正硅酸乙酯吸附液；所述吸附剂Ⅰ中同时含有壳聚糖和沸石及果壳活性炭；所述吸附剂Ⅰ中壳聚糖、沸石与果壳活性炭的质量比为1~3:1~2:1； S2、将正硅酸乙酯吸附液在温度为70~100℃、真空度≤60kPa条件下减压蒸馏，所述减压蒸馏包括依次进行的第一次减压蒸馏和第二次减压蒸馏，所述第一次减压蒸馏的温度为90~100℃且真空度为50~60kPa，所述第二次减压蒸馏的温度为70~90℃且真空度为40~50kPa，所得气体产物冷凝后得到正硅酸乙酯蒸馏液； S3、将正硅酸乙酯蒸馏液进行过滤以除去粒径为0.1μm以下的颗粒物，所述过滤包括依次进行的第一级过滤和第二级过滤，所述第一级过滤所采用的过滤器的孔径为100nm以下，所述第二级过滤所采用的过滤器的孔径为50nm以下，得到高纯正硅酸乙酯。
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