株式会社村田制作所井上和则获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社村田制作所申请的专利弹性波装置及弹性波装置的制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116325499B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180066518.3,技术领域涉及:H03H9/25;该发明授权弹性波装置及弹性波装置的制造方法是由井上和则;野竹直弘设计研发完成,并于2021-10-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本弹性波装置及弹性波装置的制造方法在说明书摘要公布了:抑制由无机膜的残渣引起的滤波器特性的劣化。弹性波装置具备支承基板、设置在支承基板上的无机膜、设置在无机膜上的压电层以及设置在压电层上的电极。在支承基板的一部分设置有空洞部。空洞部在支承基板的厚度方向上与电极的至少一部分重叠。与形成空洞部的支承基板的内壁中的最接近压电层侧的位置相比,无机膜的内壁位于远离空洞部的位置。
本发明授权弹性波装置及弹性波装置的制造方法在权利要求书中公布了:1.一种弹性波装置,具备: 支承基板; 设置在所述支承基板上的无机膜; 设置在所述无机膜上的压电层;以及 设置在所述压电层上的电极, 在所述支承基板的一部分设置有空洞部, 所述空洞部在所述支承基板的厚度方向上与所述电极的至少一部分重叠, 与形成所述空洞部的所述支承基板的内壁中的最接近所述压电层侧的位置相比,所述无机膜的内壁位于远离所述空洞部的位置, 由所述无机膜的内壁、所述压电层以及所述支承基板包围的所述无机膜的空隙,与所述支承基板的所述空洞部连通。
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