纽富来科技股份有限公司山田拓获国家专利权
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龙图腾网获悉纽富来科技股份有限公司申请的专利多带电粒子束描绘方法、多带电粒子束描绘装置以及计算机可读取的记录介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115808853B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211119387.3，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权多带电粒子束描绘方法、多带电粒子束描绘装置以及计算机可读取的记录介质是由山田拓;中山贵仁设计研发完成，并于2022-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本多带电粒子束描绘方法、多带电粒子束描绘装置以及计算机可读取的记录介质在说明书摘要公布了：提供多带电粒子束描绘方法、多带电粒子束描绘装置以及计算机可读取的记录介质，能够提高多射束的描绘精度。本实施方式的多带电粒子束描绘方法包括：将用于向消隐孔径阵列基板上的单元阵列输入用于控制多射束的各射束的开启或截止的控制数据的数据路径，根据多个输入输出电路的各输入输出电路、以及基于向上述多个输入输出电路的多个布线的布线间距离而集中的多个布线组中的至少任一个，分割为多个第1块，针对分割后的上述多个第1块的每个，计算因电场以及磁场的至少任一个而产生的上述多个第1块的每个的上述多射束的第1移位量的工序；以及基于上述第1移位量，校正上述多射束的照射位置或者照射量并照射上述多射束的各射束的工序。
本发明授权多带电粒子束描绘方法、多带电粒子束描绘装置以及计算机可读取的记录介质在权利要求书中公布了：1.一种多带电粒子束描绘方法，包括： 将用于向消隐孔径阵列基板上的单元阵列输入用于控制多射束的各射束的开启或截止的控制数据的数据路径，根据多个输入输出电路的各输入输出电路、以及基于向上述多个输入输出电路的多个布线的布线间距离而集中的多个布线组中的至少任一个，分割为多个第1块，针对分割后的上述多个第1块的每个，计算因电场以及磁场的至少任一个而产生的上述多个第1块的每个的上述多射束的第1移位量的工序；以及 基于上述第1移位量，校正上述多射束的照射位置或者照射量并照射上述多射束的各射束的工序。
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