圆益IPS股份有限公司卢成镐获国家专利权
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龙图腾网获悉圆益IPS股份有限公司申请的专利基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115763301B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211075937.6，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权基板处理装置是由卢成镐;李晶桓;丁青焕;金台东;金颍俊;琴文哲;朴赞洙;金美淑;金龙基设计研发完成，并于2022-09-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置在说明书摘要公布了：本说明涉及一种基板处理装置，具体而言，涉及一种通过低压和高压的变压转换而执行基板处理的基板处理装置。本发明公开一种基板处理装置，其包括：工艺腔体100，腔体主体110，基板支撑部200，内部引线部300，第一压力调节部400，第二压力调节部500，以及控制部。
本发明授权基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于，包括： 工艺腔体100，其又包括：腔体主体110，其上部开放，在中心侧形成安装槽130，并且在一侧形成用于将基板1移入移出的栅极111；以及顶部引线140，结合于上述腔体主体110的上部，并形成内部空间；以及 基板支撑部200,以与上述腔体主体110的上述安装槽130相对应的形状形成而内插设置于上述安装槽130，基板1设置于其上面；以及 内部引线部300，在上述内部空间可进行上下移动，在下降时其部分结构与上述安装槽130相邻的底面120紧密接触，将上述内部空间分割成基板支撑部200所在的密封的处理空间S2以及余下的空间非处理空间S1；以及 第一压力调节部400，与上述处理空间S2相连通，对上述处理空间S2的压力进行调节； 第二压力调节部500，与上述非处理空间S1相连通，可独立于上述处理空间S2对上述非处理空间S1的压力进行调节； 控制部，控制通过上述第一压力调节部400和第二压力调节部500对上述处理空间S2和上述非处理空间S1进行的压力调节。
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