中国科学院合肥物质科学研究院杨鑫获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
龙图腾网获悉中国科学院合肥物质科学研究院申请的专利一种基于永磁铁的螺旋波等离子体放电装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115734448B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211392679.4,技术领域涉及:H05H1/30;该发明授权一种基于永磁铁的螺旋波等离子体放电装置是由杨鑫;夏英;周华;周海山;罗广南设计研发完成,并于2022-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于永磁铁的螺旋波等离子体放电装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于永磁铁的螺旋波等离子体放电装置,包括气源、射频电源系统、进气管道、流量调节阀、放电管、螺旋波天线、永磁铁、环形永磁铁支架、真空放电腔室、真空泵。射频电源与阻抗匹配器相连;阻抗匹配器与天线连接;螺旋波天线穿过放电管;放电管穿过环形永磁铁支架支撑,前端连接进气口,尾端连接真空放电腔室;永磁铁用专门设计的环形永磁铁支架卡住,产生磁场位型可调节的轴向磁场。永磁体具有不需要电力和冷却系统,体积小,耗能低,不产热等优点,有效降低设备的体积和成本,有利于开发紧凑的螺旋波等离子体放电装置。本发明系统选取永磁铁产生磁场,可实现高密度的螺旋波等离子体的激发。
本发明授权一种基于永磁铁的螺旋波等离子体放电装置在权利要求书中公布了:1.一种基于永磁铁的螺旋波等离子体放电装置,其特征在于,包括气源、射频电源、阻抗匹配器、进气管道、流量调节阀、放电管、螺旋波天线、永磁铁、环形永磁铁支架、真空放电腔室; 所述射频电源与阻抗匹配器相连;阻抗匹配器与螺旋波天线连接;螺旋波天线穿过放电管,进而穿过环形永磁铁支架;放电管穿过环形永磁铁支架,前端连接进气口,尾端连接真空放电腔室;永磁铁利用环形永磁铁支架卡住,产生轴向磁场;气源通过进气管道连接流量调节阀;流量调节阀门控制进气流量,放电工质经过进气管道进入放电管内,在螺旋波天线以及永磁铁产生的磁场作用下形成高密度的螺旋波等离子体; 所述环形永磁铁支架由4块316不锈钢组成;2块316不锈钢制成内径52mm,外径182mm,厚度15mm的不锈钢圆环,不锈钢圆环直径两端方向位置开有长30mm,宽15mm,深38mm的长方体凹槽,用于放置永磁铁;剩余没开凹槽位置沿径向开有深度15mm的第一M6螺纹孔,共8个;不锈钢圆环表面对称开有12.4mm的通孔,共4个;另外两块316不锈钢制成的不锈钢圆环的表面设有对称的4个M8螺纹孔;每个不锈钢圆环外圈有一个环形不锈钢部件,内径182mm,外径212mm,厚度14mm;环形不锈钢部件的表面有16个第二M6螺纹孔,其中8个用于压紧永磁铁,8个用于连接内部不锈钢圆环;中间两块不锈钢圆环之间通过螺纹杆连接组成;中间两块不锈钢圆环之间的螺纹杆套上绝缘套,避免与螺旋波天线接通。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院合肥物质科学研究院,其通讯地址为:230031 安徽省合肥市庐阳区三十岗乡古城路181号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议,有机会获取IP积分或其他奖励