买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理装置、基板处理方法、学习用数据的生成方法、学习方法、学习装置、已学习模型的生成方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115668448B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180038611.3，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权基板处理装置、基板处理方法、学习用数据的生成方法、学习方法、学习装置、已学习模型的生成方法是由川根旬平;泽崎尚树设计研发完成，并于2021-05-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板处理装置、基板处理方法、学习用数据的生成方法、学习方法、学习装置、已学习模型的生成方法在说明书摘要公布了：一种基板处理装置100具备多个处理单元1A1、1B1、多个单独排气管41A、41B、共用排气管81A、多个第一压力调节机构73A1、73B1、第二压力调节机构87A以及控制部102。从处理单元1A1、1B1排出的气体流入单独排气管41A、41B。从单独排气管41A、41B排出的气体流入共用排气管81A。第一压力调节机构73A1、73B1调节从处理单元1A1、1B1流入单独排气管41A、41B的气体的压力。第二压力调节机构87A调节共用排气管81A内部的气体的压力。控制部102从已学习模型LM取得规定多个第一压力调节机构73A1、73B1的动作和第二压力调节机构87A的动作的处理时压力调节信息。

本发明授权基板处理装置、基板处理方法、学习用数据的生成方法、学习方法、学习装置、已学习模型的生成方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于，具备： 多个处理单元，其根据处理时顺序信息向处理对象基板供给处理液而对所述处理对象基板进行处理，所述处理时顺序信息表示利用所述处理液对所述处理对象基板进行处理的顺序； 多个单独排气管，其使从多个所述处理单元排出的气体流入； 共用排气管，其使从多个所述单独排气管排出的气体流入； 多个第一压力调节机构，其对从多个所述处理单元流入到多个所述单独排气管的气体的压力进行调节； 第二压力调节机构，其对所述共用排气管的内部的气体的压力进行调节；以及 控制部，其在被输入所述处理时顺序信息时，对已学习模型输入所述处理时顺序信息，从所述已学习模型取得处理时压力调节信息并基于所取得的所述处理时压力调节信息对多个所述第一压力调节机构和所述第二压力调节机构进行控制，其中，所述已学习模型输出对多个所述第一压力调节机构的动作和所述第二压力调节机构的动作进行规定的所述处理时压力调节信息， 所述已学习模型是对将处理结果信息与学习对象信息关联起来的学习用数据进行机器学习而构建的，所述处理结果信息表示利用所述处理液对学习对象基板进行了处理的结果， 所述学习对象信息包括学习时压力调节信息和学习时顺序信息，所述学习时压力调节信息表示处理所述学习对象基板时的多个所述第一压力调节机构的动作和所述第二压力调节机构的动作，所述学习时顺序信息表示利用所述处理液对所述学习对象基板进行处理的顺序。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社斯库林集团，其通讯地址为：日本京都府；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。