应用材料公司沙塔努·拉吉夫·加吉尔获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利用于抛光系统的维护方法及其相关物件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115666857B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180017773.9，技术领域涉及：B24B53/017；该发明授权用于抛光系统的维护方法及其相关物件是由沙塔努·拉吉夫·加吉尔;苏米特·苏巴什·帕坦卡;内森·阿伦·戴维斯;迈克尔·J·考夫林;艾伦·L·丹布拉设计研发完成，并于2021-02-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于抛光系统的维护方法及其相关物件在说明书摘要公布了：本文的实施方式涉及可用于在CMP系统部件上提供疏水表面的化学浸渍施加器和相关的施加方法。在一个实施方式中，一种在抛光系统部件的表面上形成疏水涂层的方法包括清洁抛光系统部件的表面以从其移除抛光流体残留物并且将导致疏水性的化学溶液施加到抛光系统部件的表面。
本发明授权用于抛光系统的维护方法及其相关物件在权利要求书中公布了：1.一种在抛光系统部件的表面上形成疏水涂层的方法，包括以下步骤： 清洁所述抛光系统部件的所述表面以从其移除抛光流体残留物；和 使用疏水性施加器将导致疏水性的化学溶液施加到所述抛光系统部件的所述表面，所述疏水性施加器包括： 施加器物件，由孔隙度为60％或更大、密度为50kgm3或更大且玻璃化转变温度Tg为25℃或更小的开口发泡材料形成。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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