中国科学院光电技术研究所李天获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院光电技术研究所申请的专利一种大数值孔径光刻投影物镜波像差拼接缝合装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115657424B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211329033.1，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种大数值孔径光刻投影物镜波像差拼接缝合装置及方法是由李天;全海洋;刘俊伯;朱咸昌;王建;胡松设计研发完成，并于2022-10-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种大数值孔径光刻投影物镜波像差拼接缝合装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种大数值孔径光刻投影物镜波像差拼接缝合装置及方法，包括：沿照明系统照明方向依次是掩模、掩模台、大数值孔径光刻投影物镜、用于对准掩模图形经大数值孔径光刻投影物镜倍率缩放后在成像面的实际像点的夏克‑哈特曼传感器、承载夏克‑哈特曼传感器可六维运动的传感器运动台和用于测量对准位置坐标信息并返回对准位置三维坐标的干涉仪测量系统。通过传感器运动台使得夏克‑哈特曼传感器对准实际像点并沿工字形以哈达玛测量矩阵编码形式扫描大数值孔径光刻投影物镜波前信息，使用差分测量分离出由平移、倾斜调整误差引起的测量误差，通过小波变换提高信号稀疏度并以压缩感知算法重构实际波前实现大数值孔径波像差拼接缝合技术。
本发明授权一种大数值孔径光刻投影物镜波像差拼接缝合装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种大数值孔径光刻投影物镜波像差拼接缝合装置，其特征在于：该装置包括照明系统1、掩模2、掩模台3、大数值孔径光刻投影物镜4、夏克-哈特曼传感器5、传感器运动台6和干涉仪7；其中： 照明系统1提供一束激光用于照明，所述掩模2和夏克-哈特曼传感器5安装在具有六个自由度的掩模台3和传感器运动台6，目的是在测试过程中方便调节由平移和倾斜带来的测量误差；通过传感器运动台6使得夏克-哈特曼传感器5对准实际像点并沿工字形扫描并以哈达玛测量矩阵形式扫描大数值孔径光刻投影物镜4波前信息，干涉仪7测量对准位置的三维坐标，使用差分测量分离出由平移、倾斜调整误差引起的测量误差，通过小波变换提高信号稀疏度并以压缩感知算法重构实际波前实现大数值孔径波像差拼接缝合技术。
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