浙江大学林宏焘获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江大学申请的专利一种混合波导集成石墨烯中红外电光调制器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115598869B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210792816.7,技术领域涉及:G02F1/01;该发明授权一种混合波导集成石墨烯中红外电光调制器是由林宏焘;钟础宇;魏茂良;马辉;巨泽朝设计研发完成,并于2022-07-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种混合波导集成石墨烯中红外电光调制器在说明书摘要公布了:本发明公开了一种混合波导集成石墨烯中红外电光调制器。包括蓝宝石衬底;硅波导传输层形成在蓝宝石衬底之上;第一石墨烯层位于硅波导传输层的一侧上;第一石墨烯层控制电极布置连接在第一石墨烯层之上;硫系介质层形成在硅波导传输层上,包覆第一石墨烯层;第二石墨烯层位于硫系介质层的一侧上;第二石墨烯层控制电极布置在第二石墨烯层上;包括硫系条形波导形成在第二石墨烯层上;硫系盖层形成在硫系介质层上,包覆第二石墨烯层和硫系条形波导。本发明支持3‑5μm波段的信号光进行低损传输和调制,本发明使用硅平板层与硫系条形波导构成混合脊型波导结构,石墨烯层可集成在TE0模式的场强极大值处,降低了光功耗。
本发明授权一种混合波导集成石墨烯中红外电光调制器在权利要求书中公布了:1.一种混合波导集成石墨烯中红外电光调制器,其特征在于: 包括蓝宝石衬底1; 包括硅波导传输层2,形成在蓝宝石衬底1之上; 包括第一石墨烯层3,位于硅波导传输层2的一侧上; 包括第一石墨烯层控制电极4,布置连接在第一石墨烯层3之上; 包括硫系介质层5,形成在硅波导传输层2上,且包覆第一石墨烯层3; 包括第二石墨烯层6,位于硫系介质层5的一侧上; 包括第二石墨烯层控制电极7,布置连接在第二石墨烯层6之上; 包括硫系条形波导8,形成在第二石墨烯层6上; 包括硫系盖层9,形成在硫系介质层5上,且包覆第二石墨烯层6和硫系条形波导8。
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