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长江存储科技有限责任公司张齐获国家专利权

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龙图腾网获悉长江存储科技有限责任公司申请的专利介电结构、制备方法、以及半导体器件获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115565933B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211311095.X,技术领域涉及:H10W10/00;该发明授权介电结构、制备方法、以及半导体器件是由张齐;罗兴安;涂飞飞;王新胜;周毅;刘力挽;杨康设计研发完成,并于2022-10-25向国家知识产权局提交的专利申请。

介电结构、制备方法、以及半导体器件在说明书摘要公布了:本申请提供了一种介电结构、制备方法以及半导体器件。制备介电结构的方法包括:在基体中形成凹槽;在所述凹槽内形成填充层,其中,所述填充层将所述凹槽的至少部分空间填充;以及使所述填充层的体积收缩,释放所述凹槽被填充的空间中的至少部分空间。

本发明授权介电结构、制备方法、以及半导体器件在权利要求书中公布了:1.一种介电结构的制备方法,其特征在于,所述方法包括: 在基体中形成凹槽; 在所述凹槽内形成填充层,其中,所述填充层将所述凹槽的至少部分空间填充,所述填充层包括可溶胀材料或收缩性材料;以及 使所述填充层的体积收缩,释放所述凹槽被填充的空间中的至少部分空间。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人长江存储科技有限责任公司,其通讯地址为:430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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