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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理装置、基板处理方法、学习用数据的生成方法、学习方法、学习装置、学习完成模型的生成方法及学习完成模型获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115428123B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180029372.5，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权基板处理装置、基板处理方法、学习用数据的生成方法、学习方法、学习装置、学习完成模型的生成方法及学习完成模型是由阿野诚士;小路丸友则设计研发完成，并于2021-03-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板处理装置、基板处理方法、学习用数据的生成方法、学习方法、学习装置、学习完成模型的生成方法及学习完成模型在说明书摘要公布了：本发明的基板处理装置100具备基板保持部120、药液供给部130、基板信息取得部22a、药液处理条件信息取得部22b、及控制部22。基板信息取得部22a取得包含硬化层厚度信息或离子注入条件信息的基板信息，该硬化层厚度信息表示处理对象基板的抗蚀层中的硬化层的厚度，该离子注入条件信息表示在抗蚀层形成硬化层的离子注入的条件。药液处理条件信息取得部22b基于基板信息，自学习完成模型取得表示关于处理对象基板的药液处理条件的药液处理条件信息。控制部22根据药液处理条件信息来控制基板保持部120及药液供给部130，以利用药液对处理对象基板进行处理。

本发明授权基板处理装置、基板处理方法、学习用数据的生成方法、学习方法、学习装置、学习完成模型的生成方法及学习完成模型在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，具备： 基板保持部，其将具有形成了硬化层的抗蚀层的处理对象基板保持为能够旋转； 药液供给部，其对上述处理对象基板供给药液； 基板信息取得部，其取得关于上述处理对象基板的包含硬化层厚度信息或离子注入条件信息的基板信息；其中，该硬化层厚度信息表示上述硬化层的厚度；该离子注入条件信息表示在上述抗蚀层形成上述硬化层的离子注入的条件； 药液处理条件信息取得部，其根据上述基板信息，自学习完成模型取得表示关于上述处理对象基板的药液处理条件的药液处理条件信息；及 控制部，其根据在上述药液处理条件信息取得部所取得的上述药液处理条件信息来控制上述基板保持部及上述药液供给部，以利用药液对上述处理对象基板进行处理； 上述学习完成模型通过对学习用数据进行机器学习而构建，在该学习用数据中，将关于具有形成了硬化层的抗蚀层的学习对象基板的包含硬化层厚度信息或离子注入条件信息的基板信息、药液处理条件信息、及处理结果信息建立关联；其中，该硬化层厚度信息表示上述硬化层的厚度；该离子注入条件信息表示在上述抗蚀层形成上述硬化层的离子注入的条件；该药液处理条件信息表示利用药液对上述学习对象基板进行处理的条件；该处理结果信息表示利用药液对上述学习对象基板进行处理的结果。

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