细美事有限公司郭基荣获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利基板处理装置及基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115410948B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210447269.9，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权基板处理装置及基板处理方法是由郭基荣;权相荣;沈且燮设计研发完成，并于2022-04-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置及基板处理方法在说明书摘要公布了：本发明提供了基板处理装置及基板处理方法。基板处理装置包括：基板支承单元，支承基板；液体供应单元，向由所述基板支承单元支承的所述基板供应液体，所述液体包括药液和清洗液中的任一种；处理容器，容纳所述基板支承单元，并且回收从所述液体供应单元供应到所述基板的液体；以及捕获模块，设置于所述处理容器，并且以抑制从所述基板飞散的所述液体从所述处理容器反弹并再次飞散的方式捕获所述液体。
本发明授权基板处理装置及基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，包括： 基板支承单元，支承基板； 液体供应单元，向由所述基板支承单元支承的所述基板供应液体，所述液体包括药液和清洗液中的任一种； 处理容器，容纳所述基板支承单元，并且回收从所述液体供应单元供应到所述基板的所述液体；以及 捕获模块，设置于所述处理容器，并且捕获从所述基板飞散的所述液体， 其中，所述捕获模块在所述处理容器的内壁上以滑动方式进退移动，从而以用于捕获所述液体的第一位置调整模式进行操作，或 所述捕获模块在连接球上以一定范围进行倾斜移动，从而以用于捕获所述液体的第二位置调整模式进行操作。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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