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华虹半导体(无锡)有限公司陈天获国家专利权

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龙图腾网获悉华虹半导体(无锡)有限公司申请的专利一种低导通电阻双沟槽栅SOI-LDMOS版图结构及其形成方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115274653B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210884794.7,技术领域涉及:H10D89/10;该发明授权一种低导通电阻双沟槽栅SOI-LDMOS版图结构及其形成方法是由陈天;阚博;肖莉;王黎;陈华伦设计研发完成,并于2022-07-26向国家知识产权局提交的专利申请。

一种低导通电阻双沟槽栅SOI-LDMOS版图结构及其形成方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种低导通电阻双沟槽栅SOI‑LDMOS版图结构及其形成方法,所述结构至少包括SOI衬底和形成于所述SOI衬底的顶层硅中的多个阵列排列的六边形LDMOS单元。本发明通过六边形单元的拼接形成LDMOS功率模块,由于形成了两个沟槽栅,所以,模块中有两条纵向的导电沟道,可以使得电流导通电阻减小,器件电流密度增加,器件性能明显提升;六边环形沟槽栅使得电流通道也是6个方向的,比传统的条形栅器件电流处理能力提升一倍;六边形陈列分布的LDMOS单元可以使芯片面积利用达到最优,无面积浪费,明显优于传统的圆型阵列分布。

本发明授权一种低导通电阻双沟槽栅SOI-LDMOS版图结构及其形成方法在权利要求书中公布了:1.一种低导通电阻双沟槽栅SOI-LDMOS版图结构,其特征在于,所述结构至少包括SOI衬底和形成于所述SOI衬底的顶层硅中的多个阵列排列的六边形LDMOS单元,所述六边形LDMOS单元包括: 有源区,呈六边形; 第一沟槽氧化层,呈六边环形,形成于所述有源区中; 阱区,呈六边环形,形成于所述第一沟槽氧化层的外围,且所述阱区低于所述有源区表面; 第二沟槽氧化层,呈六边环形,形成于所述第一沟槽氧化层的外围且贯穿所述阱区; 第一栅极层,呈六边环形,形成于所述第一沟槽氧化层中; 第二栅极层,呈六边环形,形成于所述第二沟槽氧化层中; 漏掺杂区,呈六边形,形成于所述第一沟槽氧化层的环形包围区域; 源掺杂区,呈六边环形,形成于所述阱区上方; 体掺杂区,呈六边环形,形成于所述阱区上方的源掺杂区之中; 所述有源区、所述第一沟槽氧化层、所述阱区、所述第二沟槽氧化层、所述第一栅极层、所述第二栅极层、所述漏掺杂区、所述源掺杂区以及所述体掺杂区为同心结构,具有共同的对称轴。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人华虹半导体(无锡)有限公司,其通讯地址为:214028 江苏省无锡市新吴区新洲路30号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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