应用材料公司赵国衡获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利用于光学表征应用的光谱成形器件及技术获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115066602B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180013699.3,技术领域涉及:G01N21/88;该发明授权用于光学表征应用的光谱成形器件及技术是由赵国衡;爱德华·W·布迪亚图;托德·J·伊根设计研发完成,并于2021-01-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于光学表征应用的光谱成形器件及技术在说明书摘要公布了:所公开的实施方式描述了一种系统,该系统包括:第一光学器件,用来接收光的输入射束,该输入射束具有光的多种光谱分量,并使得该输入射束分散成多个光谱束,其中该多个光谱束中的每一者对应于该多种光谱分量中的一者并沿着与其他光谱束的空间路径不同的空间路径传播;及第二光学器件,用来收集所述光谱束中的每一者的一部分,其中所收集的该部分取决于相应的光谱束的该空间路径,并根据所述光谱束中的每一者的所收集的该部分形成光的输出射束,其中该输出射束的光谱分布与光的该输入射束的光谱分布不同。
本发明授权用于光学表征应用的光谱成形器件及技术在权利要求书中公布了:1.一种用于光学表征的系统,包括: 第一光学器件,用来: 接收光的输入射束,所述输入射束包括光的多种光谱分量;及 使所述输入射束分散成多个光谱束,其中所述多个光谱束中的每一者包括光的所述多种光谱分量中的一者,且其中所述多个光谱束中的每一者沿着与所述多个光谱束中的其他光谱束中的每一者的空间路径不同的空间路径传播;及 第二光学器件,用来: 收集所述多个光谱束中的每一者的一部分,其中所收集的所述部分取决于相应的光谱束的所述空间路径;及 根据所述多个光谱束中的每一者的所收集的所述部分形成光的输出射束,其中所述输出射束的光谱分布与光的所述输入射束的光谱分布不同,其中所述第二光学器件包括孔,所述孔具有宽度,所述宽度随着沿着所述孔的距离而变化,其中所述多个光谱束中的每一者将在与其他光谱束中的每一者的穿过位置不同的位置处穿过所述孔,并且其中所述孔具有可动叶片的阵列,所述可动叶片的阵列中的每个可动叶片是可移动的以调整所述孔的沿着所述孔位于相应距离处的宽度。
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