柯狄公司纳瓦·什帕斯曼获国家专利权
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龙图腾网获悉柯狄公司申请的专利用于在金属表面上产生抗蚀刻图案的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114397795B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111517002.4,技术领域涉及:G03F1/92;该发明授权用于在金属表面上产生抗蚀刻图案的方法是由纳瓦·什帕斯曼;摩西·夫伦克尔设计研发完成,并于2016-07-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于在金属表面上产生抗蚀刻图案的方法在说明书摘要公布了:提供了在衬底上形成金属图案的方法。该方法包括向金属表面上施加具有使金属表面化学地活化的活化剂的化学表面活化溶液;在活化的表面上非击打式印刷抗蚀刻油墨以根据预定图案产生抗蚀刻掩模,其中抗蚀刻油墨内的至少一种油墨组分与活化的金属表面经历化学反应以当击中活化的表面时固定抗蚀刻油墨的液滴;进行蚀刻工艺以除去未被抗蚀刻掩模覆盖的未掩蔽的金属部分;和除去抗蚀刻掩模。
本发明授权用于在金属表面上产生抗蚀刻图案的方法在权利要求书中公布了:1.一种在衬底上形成金属图案的方法,所述方法包括: 将包含无机活化剂的水溶液施加到金属表面上,以活化所述衬底的金属表面; 对金属层进行化学活化之后,在金属表面以喷墨印刷抗蚀刻油墨; 使抗蚀刻油墨的组分与金属表面的离子进行反应,以产生抗蚀刻掩模; 进行蚀刻工艺以除去所述金属层的未被所述抗蚀刻掩模覆盖的部分;和 除去所述抗蚀刻掩模,以形成金属图案。
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