铠侠股份有限公司林秀和获国家专利权
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龙图腾网获悉铠侠股份有限公司申请的专利半导体装置、半导体装置的制造方法及衬底的再利用方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114078759B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110087368.6,技术领域涉及:H10P58/00;该发明授权半导体装置、半导体装置的制造方法及衬底的再利用方法是由林秀和;松尾美惠设计研发完成,并于2021-01-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体装置、半导体装置的制造方法及衬底的再利用方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种半导体装置、半导体装置的制造方法及衬底的再利用方法。根据一实施方式,半导体装置的制造方法包括:在第1衬底上形成第1半导体层,所述第1半导体层包含第1浓度的杂质原子;在所述第1半导体层上形成第2半导体层,所述第2半导体层包含比所述第1浓度高的第2浓度的杂质原子;以及形成多孔层,所述多孔层是所述第2半导体层的至少一部分经多孔化而成的。所述方法还包括:在所述多孔层上形成第1膜,所述第1膜包含第1元件;准备第2衬底,所述第2衬底上设置着包含第2元件的第2膜;以及将所述第1衬底和所述第2衬底以隔着所述第1膜及所述第2膜的方式贴合。所述方法还包括:以在所述第1衬底上残存所述多孔层的第1部分,在所述第2衬底上残存所述多孔层的第2部分的方式,分离所述第1衬底和所述第2衬底。
本发明授权半导体装置、半导体装置的制造方法及衬底的再利用方法在权利要求书中公布了:1.一种半导体装置的制造方法,包括: 在第1衬底上形成第1半导体层,所述第1半导体层包含第1浓度的杂质原子; 在所述第1半导体层上形成第2半导体层,所述第2半导体层包含比所述第1浓度高的第2浓度的杂质原子,且为非晶层或多晶层; 形成多孔层,所述多孔层是所述第2半导体层的至少一部分经多孔化而成的; 在所述多孔层上形成第1膜,所述第1膜包含作为第1元件的存储单元阵列; 准备第2衬底,所述第2衬底设置着包含第2元件的第2膜; 将所述第1衬底和所述第2衬底以隔着所述第1膜及所述第2膜的方式贴合;以及 以在所述第1衬底上残存所述多孔层的第1部分,在所述第2衬底上残存所述多孔层的第2部分的方式,分离所述第1衬底和所述第2衬底。
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