三星显示有限公司张熙宣获国家专利权
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龙图腾网获悉三星显示有限公司申请的专利卡盘及蚀刻设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114068382B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110855836.X，技术领域涉及：H10K71/00；该发明授权卡盘及蚀刻设备是由张熙宣;金泰宪;金到奂;金宰汉;明承镐;吴大荣;韩京熙设计研发完成，并于2021-07-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本卡盘及蚀刻设备在说明书摘要公布了：本公开涉及一种卡盘及蚀刻设备。用于支撑用于显示装置的目标基底的卡盘，其中，所述卡盘包括：基体，具有用于支撑对象的第一表面和与所述第一表面相对的第二表面，所述第一表面包括第一区域和第二区域；以及凹陷，形成在所述第二区域中并且在所述基体的厚度方向从所述第一区域凹入。所述凹陷包括在第一方向上延伸的第一凹陷和在与所述第一方向相交的第二方向上延伸的第二凹陷。
本发明授权卡盘及蚀刻设备在权利要求书中公布了：1.一种用于支撑用于显示装置的目标基底的卡盘，其中，所述卡盘包括： 基体，具有用于支撑对象的第一表面和与所述第一表面相对的第二表面，所述第一表面包括第一区域和第二区域；以及 凹陷，形成在所述第二区域中并且在所述基体的厚度方向从所述第一区域凹入，其中，所述凹陷包括在第一方向上延伸的第一凹陷和在与所述第一方向相交的第二方向上延伸的第二凹陷， 其中，所述凹陷的内侧表面相对于所述基体的所述第一表面倾斜，并且 其中，所述卡盘还包括连接电极层，所述连接电极层包括从所述基体的所述第一表面延伸到相对于所述基体的所述第一表面倾斜的所述内侧表面的部分。
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