株式会社斯库林集团井上正史获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利衬底处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114068351B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110696619.0，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权衬底处理装置是由井上正史设计研发完成，并于2021-06-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种衬底处理装置。衬底处理装置10具备：衬底处理单元100，对衬底W进行处理；循环流路330，配置有对被供给到衬底处理单元100中的处理液进行加热的加热器313，且供处理液进行循环；吐出流路132，从循环流路330分支，使处理液流向衬底处理单元100；及阀136，配置在吐出流路132中。循环流路330的一部分沿着吐出流路132的一部分配置。
本发明授权衬底处理装置在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理装置，具备： 衬底处理单元，对衬底进行处理； 循环流路，具备配置有对被供给到所述衬底处理单元中的处理液进行加热的加热器的主流路、及从所述主流路分支的迂回流路，且供所述处理液进行循环；吐出流路，从所述迂回流路分支，且使所述处理液流向所述衬底处理单元；及 阀，配置在所述吐出流路中；且 所述迂回流路具有去路及返路； 所述去路的一部分与所述返路的一部分邻近或接触； 所述吐出流路、所述去路及所述返路配置为在水平方向或铅直方向上并排为一列； 所述迂回流路的一部分平行于所述吐出流路的一部分而延伸且沿着所述吐出流路的一部分邻近或接触地配置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社斯库林集团，其通讯地址为：日本京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励