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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利一种检测方法、装置以及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113935927B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111168471.X，技术领域涉及：G06T5/40；该发明授权一种检测方法、装置以及存储介质是由陈鲁;肖遥;佟异;张嵩设计研发完成，并于2021-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种检测方法、装置以及存储介质在说明书摘要公布了：本发明提供了一种检测方法、装置以及存储介质，由于获取待检测图像以及与待检测图像相邻的至少两个对比图像；获取待检测图像与对比图像的差分图像；根据差分图像的灰度直方图，对差分图像进行二值化处理，得到差分图像的二值化图像；将至少两个二值化图像进行相与处理，得到待检测图像的二值化图像；根据预设缺陷面积阈值，确定待检测图像的二值化图像中面积大于或等于预设缺陷面积阈值的缺陷，得到缺陷检测结果。可见，通过两个对比图像形成两个差分图像，并通过两个差分图像二值化图像相与的方式得到待检测图像的二值化图像，减少对待检测图像进行二值化处理的复杂计算，并实现在无模板图像的前提下进行缺陷检测。

本发明授权一种检测方法、装置以及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种晶圆缺陷的检测方法，其特征在于，包括： 获取待检测图像以及与所述待检测图像相邻的至少两个对比图像；其中，所述待检测图像以及所述至少两个对比图像均对应晶圆上不同的待检测区域； 获取所述待检测图像与所述对比图像的差分图像； 根据所述待检测图像的尺寸大小以及预设缺陷面积比例，获得预设缺陷面积阈值； 以差分图像的灰度直方图一端部向中间累加的方式，获得所述灰度直方图中像素值个数的一个累加和；以所述灰度直方图另一端部向中间累加的方式，获得所述灰度直方图中像素值个数的另一个累加和； 确定两个累加和分别等于所述预设缺陷面积阈值时对应的第一像素值以及第二像素值； 分别对所述第一像素值以及第二像素值进行阈值偏差值的叠加，得到二值化阈值，对所述差分图像进行二值化处理，得到所述差分图像的二值化图像； 将至少两个所述二值化图像进行相与处理，得到待检测图像的二值化图像； 根据预设缺陷面积阈值，确定所述待检测图像的二值化图像中面积大于或等于所述预设缺陷面积阈值的缺陷，得到缺陷检测结果。

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