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龙图腾网获悉深圳市中光工业技术研究院申请的专利微电子非着陆式的反射镜系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113311578B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010123368.2，技术领域涉及：G02B26/08；该发明授权微电子非着陆式的反射镜系统是由林正晃设计研发完成，并于2020-02-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本微电子非着陆式的反射镜系统在说明书摘要公布了：本发明公开一种微电子非着陆式的反射镜系统，包括基板、至少两个支撑组件、至少两个驱动电极、旋转反射镜以及驱动电路。支撑组件与驱动电极均设置于基板上；旋转反射镜通过弹性复位组件弹性支撑于支撑组件上；驱动电路施加驱动电压时，旋转反射镜在不着陆于基板的运动范围内靠近施加有驱动电压的驱动电极，驱动电压解除时，旋转反射镜在各弹性复位组件的弹性回复力下远离驱动电极。其中，每一弹性复位组件包括至少两个由其对应的支撑组件连接到旋转反射镜的不同的边角位置的弹性复位单元，用于提供旋转反射镜至少两个转动自由度。通过上述方式，本发明能够避免因旋转反射镜着陆之后产生粘连，同时在更简化的结构下实现更灵活的偏转。

本发明授权微电子非着陆式的反射镜系统在权利要求书中公布了：1.一种微电子非着陆式的反射镜系统，其特征在于，包括： 基板； 设置于所述基板上的至少两个驱动电极和至少两个支撑组件，所述支撑组件的数量不大于所述驱动电极的数量； 旋转反射镜，悬设于所述至少两个驱动电极上方，并通过与所述支撑组件一一对应的弹性复位组件弹性支撑于各所述支撑组件上，每一所述弹性复位组件包括至少两个由其对应的所述支撑组件连接到所述旋转反射镜的不同的边角位置的弹性复位单元，用于提供所述旋转反射镜至少两个转动自由度，所述弹性复位的形变方向与所述旋转反射镜的偏转方向相对应； 驱动电路，用于给所述驱动电极及所述旋转反射镜之间施加驱动电压； 其中，所述驱动电路给所述至少两个驱动电极中的至少一个及所述旋转反射镜之间施加驱动电压时，所述旋转反射镜在不着陆于所述基板的运动范围内靠近施加有驱动电压的驱动电极，从而调整所述旋转反射镜的偏转角度，所述驱动电路解除所施加的驱动电压时，所述旋转反射镜在各所述弹性复位组件的弹性回复力下远离所述驱动电极，所述弹性复位组件的恢复力与静电力成为一对正相关的力，当所述旋转反射镜的旋转角度增大时，静电力增大，所述弹性复位组件的恢复力也增大; 各所述弹性复位单元与所述旋转反射镜的接触点依次连接形成一个多边形，所述多边形的几何重心与所述旋转反射镜的中心的重合，以使得所述旋转反射镜能够保持平衡。

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