厦门奥拓美科技有限公司周瑞明获国家专利权
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龙图腾网获悉厦门奥拓美科技有限公司申请的专利一种定位精准的晶圆上下料装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224054769U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520322311.3,技术领域涉及:H10P72/78;该实用新型一种定位精准的晶圆上下料装置是由周瑞明;许龙浩设计研发完成,并于2025-02-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种定位精准的晶圆上下料装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种定位精准的晶圆上下料装置,属于半导体设备技术领域。针对现有技术中晶圆转运速率还有待提升的问题,本实用新型的一种定位精准的晶圆上下料装置,设置了一级吸盘和二级吸盘,首先使用气缸降下一级吸盘对晶圆进行一重吸附,保证在使用较小数量吸盘的情况下吸起晶圆,使得吸取过程不会太长,吸附后,气缸带动一级吸盘复位,此时二级吸盘对所需移动的晶圆进行二重吸附,增大了吸力,保证晶圆在移动过程中不会掉落。本实用新型还设置了机械手和升降装置,使得在转运晶圆的过程中实现完全自动化,且减少了部分位移距离,使得转运更加快捷。还设置了探针,保证了二级吸盘能够吸附到晶圆。
本实用新型一种定位精准的晶圆上下料装置在权利要求书中公布了:1.一种定位精准的晶圆上下料装置,其特征在于,包括:取料盘100; 所述取料盘100中央设置有取料盘主体170,所述取料盘主体170为矩形,所述取料盘主体170顶部固定设置有安装部110,所述取料盘主体170两相对的侧边均设置有连接盘140,所述连接盘140固定连接二级吸盘架150,所述二级吸盘架150上固定设置有二级吸盘151,所述取料盘主体170另两相对的侧边固定设置有气缸120,所述气缸120可拆卸地连接一级吸盘架130,所述一级吸盘架130高度高于所述二级吸盘架150,所述一级吸盘架130上固定设置有一级吸盘131,使得所述取料盘100下降时所述一级吸盘131能够首先接触到平放的晶圆。
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