上海稷以科技有限公司郑长吉获国家专利权
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龙图腾网获悉上海稷以科技有限公司申请的专利一种提升等离子去胶设备稳定性及均一性的装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224054761U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520675717.X，技术领域涉及：H10P72/50；该实用新型一种提升等离子去胶设备稳定性及均一性的装置是由郑长吉;林富豆设计研发完成，并于2025-04-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种提升等离子去胶设备稳定性及均一性的装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种提升等离子去胶设备稳定性及均一性的装置，包括平边保护环和光学Aligner校准器；所述平边保护环设有平边结构，用于放置带有平边的晶圆，避免电极暴露；所述光学Aligner校准器基于光学测量技术，安装在原晶圆限位校准处，检测晶圆中心和缺口位置，实现精准定位对准。本装置可提高产品均一性、良率，降低成本。
本实用新型一种提升等离子去胶设备稳定性及均一性的装置在权利要求书中公布了：1.一种提升等离子去胶设备稳定性及均一性的装置，其特征在于：包括平边保护环和光学Aligner校准器；所述平边保护环设有平边结构，用于放置带有平边的晶圆；所述光学Aligner校准器设置在晶圆传送路径上，用于检测晶圆中心和缺口位置，以实现对晶圆的定位和对准。
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