上海盈盛通半导体设备有限公司陈章良获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉上海盈盛通半导体设备有限公司申请的专利一种晶圆搬送手臂结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224054759U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520694060.1，技术领域涉及：H10P72/30；该实用新型一种晶圆搬送手臂结构是由陈章良;张俊清设计研发完成，并于2025-04-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆搬送手臂结构在说明书摘要公布了：本实用新型属于晶圆制造的技术领域，公开了一种晶圆搬送手臂结构，包括Z轴组件、θ轴组件、X轴组件和晶圆手臂组件，所述Z轴组件还包括结构框架，所述联轴器转轴组件上端旋转连接有连接法兰，述晶圆手臂组件还包括真空组件，所述真空组件与齿轮带轮组件上端固定连接，所述真空组件上表面固定安装有手臂，本实用新型提出一种晶圆搬送手臂结构，当上游工位需要将晶圆片放置在晶圆匣中的某一层，或者需要将晶圆匣中某一层的晶圆取放到下游工位时，先通过真空组件配合手臂对晶圆进行拾取，X轴组件实现对晶圆的前后方向的驱动，针对不同工位的情况可以通过调节Z轴组件的行程来实现相应功能，本结构可以对应多个晶圆匣和上下游工位。
本实用新型一种晶圆搬送手臂结构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆搬送手臂结构，包括Z轴组件100、θ轴组件200、X轴组件300和晶圆手臂组件400，其特征在于：所述Z轴组件100还包括结构框架103，所述结构框架103内部旋转连接有导轨丝杆组件102，所述结构框架103外壁滑动连接有负载部件104，所述负载部件104与导轨丝杆组件102螺纹连接，所述θ轴组件200还包括联轴器转轴组件202，所述联轴器转轴组件202固定安装于负载部件104一侧，所述联轴器转轴组件202上端旋转连接有连接法兰204，所述X轴组件300还包括固定部件301，所述固定部件301固定安装于连接法兰204上表面，所述固定部件301上表面固定安装有齿轮带轮组件303，所述晶圆手臂组件400还包括真空组件401，所述真空组件401与齿轮带轮组件303上端固定连接，所述真空组件401上表面固定安装有手臂402。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海盈盛通半导体设备有限公司，其通讯地址为：201199 上海市闵行区都会路855号1幢A301室、A302室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励