北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司董兵获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
龙图腾网获悉北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司申请的专利一种晶舟传送装置与炉管设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224054758U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520523458.9,技术领域涉及:H10P72/30;该实用新型一种晶舟传送装置与炉管设备是由董兵;齐钰浩;刘振兴;王亿尧设计研发完成,并于2025-03-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶舟传送装置与炉管设备在说明书摘要公布了:本申请提供一种晶舟传送装置与炉管设备,主要包括:旋转器,旋转器上设置至少一组承载位,承载位用于放置晶舟;升降器,升降器用于带动晶舟做升降运动;驱动装置,驱动装置分别与旋转器和升降器电连接,驱动装置用于驱动旋转器将承载位旋转至第一目标位置,以带动晶舟旋转至第一目标位置,驱动装置还用于驱动升降器上升托举晶舟脱离承载位,以使得晶舟从第一目标位置移动至第二目标位置;驱动装置还用于驱动升降器下降,以使得晶舟回落至承载位。本申请可以向多个反应腔室送入晶舟,即多个反应腔室同时进行加工,以提高具有多个反应腔室的炉管设备的使用效率。
本实用新型一种晶舟传送装置与炉管设备在权利要求书中公布了:1.一种晶舟传送装置,其特征在于,包括: 旋转器,所述旋转器上设置至少一组承载位,所述承载位用于放置晶舟; 升降器,所述升降器用于带动所述晶舟做升降运动; 驱动装置,所述驱动装置分别与所述旋转器和所述升降器电连接,所述驱动装置用于驱动所述旋转器将所述承载位旋转至第一目标位置,以带动所述晶舟旋转至所述第一目标位置,所述驱动装置还用于驱动所述升降器上升托举所述晶舟脱离所述承载位,以使得所述晶舟从第一目标位置移动至第二目标位置;所述驱动装置还用于驱动所述升降器下降,以使得所述晶舟回落至所述承载位; 其中,所述第一目标位置位于炉管设备反应腔室的正下方,且与所述旋转器的水平高度相同,所述第二目标位置位于所述反应腔室的正下方,且在所述晶舟移动至所述第二目标位置时,所述晶舟置于所述反应腔室中。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司,其通讯地址为:100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道18号9幢一层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议,有机会获取IP积分或其他奖励